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龍圖騰網(wǎng)恭喜國科大杭州高等研究院申請的專利一種用于精密激光干涉測量標(biāo)定的亞納米級高精度微位移裝置及應(yīng)用獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN114963998B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-30發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202210497613.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/02；該發(fā)明授權(quán)一種用于精密激光干涉測量標(biāo)定的亞納米級高精度微位移裝置及應(yīng)用是由王義坤;孟令強;高瑞弘;叢蕊;邊偉;賈建軍;王建宇設(shè)計研發(fā)完成，并于2022-05-09向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種用于精密激光干涉測量標(biāo)定的亞納米級高精度微位移裝置及應(yīng)用在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種用于精密激光干涉測量標(biāo)定的亞納米級高精度微位移裝置及應(yīng)用，利用差動電容測微反饋配合靜電懸浮驅(qū)動進行閉環(huán)控制，實現(xiàn)亞納米量級的高精度微位移實時監(jiān)測，并可以作為亞納米量級高精度微位移參考的基準(zhǔn)；同時利用主動隔振臺隔離掉地面振動噪聲對亞納米量級高精度微位移裝置的振動影響；在浮動基板上巧妙鑲嵌一個角錐反射鏡，作為精密激光干涉測量系統(tǒng)的動鏡，另外一個固定角錐反射鏡作為靜鏡，靜電懸浮驅(qū)動浮動基板帶動角錐反射鏡產(chǎn)生亞納米量級的定量微位移，利用精密激光干涉測量系統(tǒng)對角錐反射鏡的定量微位移進行測量，建立測量結(jié)果和微位移之間的定量標(biāo)定關(guān)系，完成對精密激光干涉測量系統(tǒng)的亞納米量級位移測量標(biāo)定。

本發(fā)明授權(quán)一種用于精密激光干涉測量標(biāo)定的亞納米級高精度微位移裝置及應(yīng)用在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于精密激光干涉測量標(biāo)定的亞納米級高精度微位移裝置，其特征在于：所述用于精密激光干涉測量標(biāo)定的亞納米級高精度微位移裝置包括固定底板、固定頂板和布置在固定底板和固定頂板兩者所包繞的空間內(nèi)的浮動基板，所述固定底板和固定頂板之間設(shè)有差動電容傳感器，所述差動電容傳感器包括定電容上極板、定電容下極板和動電容極板，所述定電容上極板布置在固定頂板的下表面，所述定電容下極板布置在固定底板的上表面，所述浮動基板外表面包覆有一圈動電容極板；所述浮動基板上設(shè)有角錐反射鏡，所述角錐反射鏡的位置滿足入射至角錐反射鏡的光線可以無遮擋返回。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人國科大杭州高等研究院，其通訊地址為：310024 浙江省杭州市西湖區(qū)象山支弄1號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。