恭喜杭州電子科技大學陳蔓汝獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜杭州電子科技大學申請的專利一種氧化亞銅-磷化亞銅異質結的制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114883488B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-30發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210529947.6,技術領域涉及:H10N70/20;該發明授權一種氧化亞銅-磷化亞銅異質結的制備方法是由陳蔓汝;彭雪;郭欣;呂燕飛;席俊華;趙士超設計研發完成,并于2022-05-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種氧化亞銅-磷化亞銅異質結的制備方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種氧化亞銅?磷化亞銅異質結的制備方法,本發明先生成磷化亞銅薄膜,之后,在磷化亞銅表面沉積氧化鋅薄膜,然后進行熱處理,獲得p型氧化亞銅。其次,采用模板法在磷化亞銅表面通過磁控濺射沉積氧化鋅薄膜,氧化鋅薄膜呈叉指形圖案,熱處理后,表面沉積有氧化鋅的部分轉變成p型氧化亞銅,形成p型氧化亞銅與p型磷化亞銅的面內異質結。通過熱蒸發法在氧化亞銅和磷化亞銅區沉積金電極,制備成異質結器件。本發明制備的由p型氧化亞銅和p型磷化亞銅形成的異質結,成本低,重復性好,憶阻性能好。
本發明授權一種氧化亞銅-磷化亞銅異質結的制備方法在權利要求書中公布了:1.一種氧化亞銅-磷化亞銅異質結的制備方法,其特征在于,該方法具體包括以下步驟:步驟1.制備磷化亞銅薄膜;步驟2.磷化亞銅薄膜表面放置掩膜版,通過磁控濺射法沉積氧化鋅薄膜,氧化鋅薄膜呈叉指電極形狀;磁控濺射設備真空度0.1-1.0Pa,氧氣流量1-5sccm,氬氣流量20-50sccm,濺射電壓300-450V,電流30-60mA,濺射時間20-40min,靶材為金屬鋅靶;制備的氧化鋅薄膜厚度50-200nm;步驟3.步驟2產物放入管式爐的石英管中,充入惰性氣體氬氣,加熱石英管,石英管升溫速率20℃min,升至760-850℃,并保溫60-120min,之后石英管自然冷卻至室溫,獲得由p型氧化亞銅和p型磷化亞銅形成的異質結。
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