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龍圖騰網(wǎng)恭喜研能科技股份有限公司申請的專利微流體致動器獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN111252727B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-27發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：201811451909.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B81B3/00；該發(fā)明授權(quán)微流體致動器是由莫皓然;余榮侯;張正明;戴賢忠;廖文雄;黃啟峰;韓永隆;蔡長諺設(shè)計研發(fā)完成，并于2018-11-30向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本微流體致動器在說明書摘要公布了：一種微流體致動器，包含基板、腔體層、振動層、下電極層、壓電致動層、上電極層、孔板層以及流道層。基板通過蝕刻制程形成出流孔洞、第一進流孔洞以及第二進流孔洞。腔體層形成于基板上，并通過蝕刻制程形成儲流腔室。振動層形成于腔體層上。下電極層形成于振動層上。壓電致動層形成于下電極層上。上電極層形成于壓電致動層上。孔板層通過蝕刻制程形成出流口及進流口。流道層形成于孔板層之上，通過光刻制程形成出流通道及進流通道，并接合于基板。提供驅(qū)動電源至上電極層以及下電極層，以驅(qū)動并控制振動層產(chǎn)生上下位移，以完成流體傳輸。

本發(fā)明授權(quán)微流體致動器在權(quán)利要求書中公布了：1.一種微流體致動器，其特征在于，包含：一基板，具有一第一表面及一第二表面，通過蝕刻制程形成一出口溝槽、二進口溝槽、一出流孔洞、多個第一進流孔洞以及二第二進流孔洞，該出口溝槽與該出流孔洞相連通，每一該進口溝槽與部分的該多個第一進流孔洞以及相對應(yīng)的該多個第二進流孔洞相連通，該多個進口溝槽分別對稱設(shè)置在該出口溝槽的兩側(cè)，該多個第一進流孔洞對稱設(shè)置在該出流孔洞的兩側(cè)，該第二進流孔洞分別對稱設(shè)置在該出流孔洞的兩側(cè)，且于該多個第一進流孔洞的一端；一腔體層，通過沉積制程形成于該基板的該第一表面上，且通過蝕刻制程形成一儲流腔室，該儲流腔室與該出流孔洞、該多個第一進流孔洞以及該多個第二進流孔洞相連通；一振動層，通過沉積制程形成于該腔體層上；一下電極層，通過沉積制程及蝕刻制程形成于該振動層上；一壓電致動層，通過沉積制程及蝕刻制程形成于該下電極層上；一上電極層，通過沉積制程及蝕刻制程形成于該壓電致動層上；一孔板層，通過蝕刻制程形成一出流口以及二進流口，該多個進流口分別對稱設(shè)置在該出流口的兩側(cè)；以及一流道層，通過一干膜材料滾壓制程形成于該孔板層之上、通過光刻制程形成一出流通道、二進流通道以及多個柱狀結(jié)構(gòu)、以及通過覆晶對位與熱壓合制程接合于該基板的該第二表面，該多個進流通道分別對稱設(shè)置在該出流通道的兩側(cè)，該多個柱狀結(jié)構(gòu)對稱設(shè)置在該出流通道的兩側(cè)，該孔板層的該出流口借由該出流通道與該基板的該出口溝槽相連通，該孔板層的該多個進流口分別借由該多個進流通道與該基板的該多個進口溝槽相連通；其中，提供具有不同相位電荷的驅(qū)動電源至該上電極層以及該下電極層，以驅(qū)動并控制該振動層產(chǎn)生上下位移，使流體自該多個進流口吸入，通過該多個第一進流孔洞以及該多個第二進流孔洞流至該儲流腔室，最后受擠壓經(jīng)由該出流孔洞后自該出流口排出以完成流體傳輸。

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