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龍圖騰網恭喜艾克斯特朗歐洲公司申請的專利用于CVD反應器的裝載模塊獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114586136B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080071632.0，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權用于CVD反應器的裝載模塊是由P.尼施勒設計研發完成，并于2020-09-01向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于CVD反應器的裝載模塊在說明書摘要公布了：本發明涉及一種用于處理一個或多個基板19的設備，所述設備具有一個或多個處理模塊3、3’、3”，所述處理模塊分別具有用于容納基座10的處理室20，所述設備還具有抓取元件9，用于抓取具有基座10的傳輸模塊2，所述設備還具有具備多個可冷卻的存儲位5的倉儲模塊21，所述設備還具有裝卸閘室4，基座10通過裝卸閘室能夠從外部轉送到傳輸模塊2的搬運空間22內，并且所述設備還具有裝載模塊1，具有一個或多個基板19的基座10能夠在裝載模塊內被裝載和卸載。為了節省空間地布置設備的多個模塊，在此建議，所述裝載模塊1、裝卸閘室4和倉儲模塊21沿豎向彼此相疊地布置。

本發明授權用于CVD反應器的裝載模塊在權利要求書中公布了：1.一種用于處理一個或多個放置在基座10上的基板19的設備，所述設備具有倉儲模塊21，所述倉儲模塊具有多個可冷卻或可加熱的、用于分別存儲至少一個基座10的存儲位5，所述設備還具有用于處理一個或多個基板19的一個或多個處理模塊3、3’、3”，所述處理模塊分別具有用于容納存放在倉儲模塊21內的基座10的處理室20，所述設備還具有裝卸閘室4，基座10通過所述裝卸閘室能夠從外部轉送到傳輸模塊2的搬運空間22內，并且所述設備還具有裝載模塊1，所述裝載模塊具有裝載腔18，具有一個或多個基板19的基座10能夠在所述裝載腔內被裝載和卸載，所述設備還具有布置在所述傳輸模塊2的搬運空間22內的抓取元件9，所述抓取元件設計為，分別將多個基座10中的一個在倉儲模塊21、處理室20、裝載腔18或裝卸閘室4之間轉移，其特征在于，所述裝載腔18沿豎向布置在所述裝卸閘室4和倉儲模塊21的上方并且與所述裝卸閘室4和倉儲模塊21共同構成一體式的、能夠從所述傳輸模塊2分離的組合體。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人艾克斯特朗歐洲公司，其通訊地址為：德國黑措根拉特；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。