恭喜ASML荷蘭有限公司邵屹峰獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜ASML荷蘭有限公司申請的專利確定由帶電粒子束工具獲取的圖像中的像差的方法、確定帶電粒子束工具的設置的方法和帶電粒子束工具獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114631164B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080073990.5，技術領域涉及：H01J37/153；該發明授權確定由帶電粒子束工具獲取的圖像中的像差的方法、確定帶電粒子束工具的設置的方法和帶電粒子束工具是由邵屹峰;M·R·古森設計研發完成，并于2020-09-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本確定由帶電粒子束工具獲取的圖像中的像差的方法、確定帶電粒子束工具的設置的方法和帶電粒子束工具在說明書摘要公布了：確定由帶電粒子束工具獲取的圖像中的像差的方法包括以下步驟：a獲取樣品的兩個或更多個圖像，其中每個圖像以在帶電粒子束工具的測量條件中的已知相對差獲??；b針對表示由帶電粒子束工具使用的帶電粒子束的探測輪廓的像差，選擇所估計的像差參數；c評估誤差函數，誤差函數指示兩個或更多個圖像與所估計的兩個或更多個圖像之間的差，所估計的兩個或更多個圖像是所估計的像差參數和測量條件中的已知相對差的函數；d更新所估計的像差參數；e迭代地執行步驟c和d；f將最終像差參數確定為所估計的提供誤差函數的最小值的像差參數。
本發明授權確定由帶電粒子束工具獲取的圖像中的像差的方法、確定帶電粒子束工具的設置的方法和帶電粒子束工具在權利要求書中公布了：1.一種確定在由帶電粒子束工具獲取的圖像中的像差的方法，所述方法包括以下步驟：a使用所述帶電粒子束工具獲取樣品的兩個或更多個圖像，其中在所述帶電粒子束工具的測量條件中的已知相對差下來獲取每個圖像；b針對探測輪廓的所述像差，選擇估計像差參數，所述探測輪廓代表了所述帶電粒子束工具所使用的所述帶電粒子束；c評估誤差函數，所述誤差函數指示在所述兩個或更多個圖像與兩個或更多個估計圖像之間的差，所述兩個或更多個估計圖像是取決于所述估計像差參數和所述測量條件中的所述已知相對差；d更新所述估計像差參數；e迭代地執行步驟c和d；以及f將最終像差參數確定為提供了所述誤差函數的最小值的所述估計像差參數。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASML荷蘭有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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