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龍圖騰網恭喜上海華力集成電路制造有限公司申請的專利晶圓傳送模塊及其傳送預傳送的晶圓的方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114446843B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202011201852.9，技術領域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權晶圓傳送模塊及其傳送預傳送的晶圓的方法是由任昱;許進;昂開渠;唐在峰設計研發(fā)完成，并于2020-11-02向國家知識產權局提交的專利申請。

本晶圓傳送模塊及其傳送預傳送的晶圓的方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導體制造機臺中的晶圓傳送模塊，涉及半導體集成電路制造機臺，通過在晶圓傳送模塊的側壁加裝兩組發(fā)射接收器，以監(jiān)控電梯的行進位置，并在晶圓傳送模塊的側壁加裝兩組發(fā)射接收器，以監(jiān)控傳送手臂的位置，并將接收器接收的信號傳送至控制系統(tǒng)，而使控制系統(tǒng)根據電梯的行進位置及傳送手臂位置判斷傳送手臂是否可獲取預傳送的晶圓，而可防止因電梯位置偏移或傳送手臂位置偏移導致的晶圓刮傷問題。

本發(fā)明授權晶圓傳送模塊及其傳送預傳送的晶圓的方法在權利要求書中公布了：1.一種半導體制造機臺中的晶圓傳送模塊，其特征在于，包括：第一傳送模塊側壁和與第一傳送模塊側壁相對的第二傳送模塊側壁；電梯，位于第一傳送模塊側壁與第二傳送模塊側壁之間，用于承載晶圓，其中電梯包括電梯側壁以及多個插片，多個插片的一端沿電梯側壁的高度方向間隔排布地固定到電梯側壁上，多個插片的另一端凸出出電梯側壁，凸出出電梯側壁的部分承載晶圓，并電梯側壁在其高度方向上與第一傳送模塊側壁和第二傳送模塊側壁的延伸方向一致；第一發(fā)射器和第一接收器，第一發(fā)射器設置于第一傳送模塊側壁上，第一接收器設置于第二傳送模塊側壁上，第一接收器與第一發(fā)射器的位置相對，以使在第一接收器與第一發(fā)射器之間無障礙物阻擋的情況下，第一接收器可接收到第一發(fā)射器發(fā)射出的信號；第二發(fā)射器和第二接收器，第二發(fā)射器設置于第一傳送模塊側壁上，第二接收器設置于第二傳送模塊側壁上，第二接收器與第二發(fā)射器的位置相對，以使在第二接收器與第二發(fā)射器之間無障礙物阻擋的情況下，第二接收器可接收到第二發(fā)射器發(fā)射出的信號，第一發(fā)射器和與其對應的第一接收器以及第二發(fā)射器和與其對應的第二接收器用于監(jiān)控預傳送的晶圓在垂直方向上的位置，并根據預傳送的晶圓在垂直方向上的位置變化，第一接收器輸出第一晶圓位置信號E1，第二接收器輸出第二晶圓位置信號E2，其中預傳送的晶圓在垂直方向上的位置變化由電梯在垂直方向上的移動實現；第三發(fā)射器和第三接收器，第三發(fā)射器設置于第一傳送模塊側壁上，第三接收器設置于第二傳送模塊側壁上，第三接收器與第三發(fā)射器的位置相對，以使在第三接收器與第三發(fā)射器之間無障礙物阻擋的情況下，第三接收器可接收到第三發(fā)射器發(fā)射出的信號；第四發(fā)射器和第四接收器，第四發(fā)射器設置于第一傳送模塊側壁上，第四接收器設置于第二傳送模塊側壁上，第四接收器與第四發(fā)射器的位置相對，以使在第四接收器與第四發(fā)射器之間無障礙物阻擋的情況下，第四接收器可接收到第四發(fā)射器發(fā)射出的信號，其中第三發(fā)射器和與其對應的第三接收器以及第四發(fā)射器和與其對應的第四接收器用于監(jiān)控用于傳送晶圓的傳送手臂在垂直方向上的位置，并根據傳送手臂在垂直方向上的位置變化，第三接收器輸出第一傳送手臂位置信號H1，第四接收器輸出第二傳送手臂位置信號H2；以及控制系統(tǒng)，接收第一晶圓位置信號E1、第二晶圓位置信號E2、第一傳送手臂位置信號H1和第二傳送手臂位置信號H2，并根據第一晶圓位置信號E1、第二晶圓位置信號E2、第一傳送手臂位置信號H1和第二傳送手臂位置信號H2輸出一傳送手臂控制信號C，用于控制傳送手臂是否動作以獲取預傳送的晶圓，其中垂直方向為電梯側壁的高度方向。

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