恭喜東京毅力科創(chuàng)株式會社勝沼隆幸獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜東京毅力科創(chuàng)株式會社申請的專利用于控制基板上的圖案的形狀的方法和設備獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112951717B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202011388472.0，技術領域涉及：H01L21/3065；該發(fā)明授權用于控制基板上的圖案的形狀的方法和設備是由勝沼隆幸設計研發(fā)完成，并于2020-12-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于控制基板上的圖案的形狀的方法和設備在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種通過第一階段和第二階段處理基板的設備和方法。在第一階段，在保持有基板的腔室中執(zhí)行混合氣體施用循環(huán)。引入第一氣體持續(xù)第一時間段，以使第一氣體的組分吸附到基板上。隨后，引入第二氣體持續(xù)第二時間段，以使第二氣體與第一氣體的組分反應以在基板的圖案的側壁上提供保護層，并且第二氣體蝕刻圖案的底部，第一時間段與第二時間段之比為使用比。然后，在第二階段，以對應于圖案的豎直尺寸的不同的使用比重復混合氣體施用循環(huán)。
本發(fā)明授權用于控制基板上的圖案的形狀的方法和設備在權利要求書中公布了：1.一種處理基板的方法，包括以下步驟：在第一階段，在保持有基板的腔室中執(zhí)行混合氣體施用循環(huán)，包括：將第一氣體引入所述腔室中持續(xù)第一時間段，使所述第一氣體的組分吸附到所述基板上，以及隨后，引入第二氣體持續(xù)第二時間段，使所述第二氣體與所述第一氣體的組分反應以在所述基板的圖案的側壁上提供保護層，并且所述第二氣體蝕刻所述圖案的底部，所述第一時間段與所述第二時間段之比為使用比；以及在第二階段，以不同的使用比重復所述混合氣體施用循環(huán)，所述不同的使用比對應于所述圖案的豎直尺寸。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創(chuàng)株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網官方客服，聯(lián)系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發(fā)布本報告當日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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