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龍圖騰網(wǎng)恭喜中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所申請(qǐng)的專(zhuān)利平面射頻感性耦合放電等離子體加強(qiáng)型吸氣劑裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114597109B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-27發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202011430782.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)平面射頻感性耦合放電等離子體加強(qiáng)型吸氣劑裝置是由楊亮;石文波;李慶偉;耿自才;李永釗;吳克難;趙天亮;周冬建;回曉康;金玉奇設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-12-07向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本平面射頻感性耦合放電等離子體加強(qiáng)型吸氣劑裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及一種平面射頻感性耦合放電等離子體加強(qiáng)型吸氣劑裝置，其中真空腔體中設(shè)有壁面帶孔空心圓筒，且壁面帶孔空心圓筒上端密封、下端開(kāi)口并與真空腔體底端密封連接，壁面帶孔空心圓筒中設(shè)有電加熱元件，且電加熱元件下端由壁面帶孔空心圓筒下端開(kāi)口伸出至真空腔體外與外電源連接，真空腔體內(nèi)設(shè)有呈平面環(huán)狀的射頻耦合線圈，且射頻耦合線圈位于壁面帶孔空心圓筒上方，真空腔體外側(cè)設(shè)有射頻供電系統(tǒng)，且射頻耦合線圈通過(guò)線路與射頻供電系統(tǒng)相連，真空腔體底端兩側(cè)分別設(shè)有抽真空系統(tǒng)和氣壓采集系統(tǒng)。本發(fā)明通過(guò)加熱及射頻電磁場(chǎng)耦合方式有效彌補(bǔ)單純加熱中大體積吸氣劑激活時(shí)間長(zhǎng)的缺點(diǎn)，且射頻放電產(chǎn)生的等離子體能改善加強(qiáng)吸氣劑吸氣速率。

本發(fā)明授權(quán)平面射頻感性耦合放電等離子體加強(qiáng)型吸氣劑裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種平面射頻感性耦合放電等離子體加強(qiáng)型吸氣劑裝置，其特征在于：包括依次連接的供氣系統(tǒng)29、擴(kuò)壓器7和真空腔體1，其中真空腔體1中設(shè)有壁面帶孔空心圓筒19，且所述壁面帶孔空心圓筒19上端密封、下端開(kāi)口且外壁與真空腔體1底端密封連接，所述壁面帶孔空心圓筒19中設(shè)有電加熱元件5，且所述電加熱元件5下端由壁面帶孔空心圓筒19下端開(kāi)口伸出至真空腔體1外與外電源連接，真空腔體1內(nèi)設(shè)有呈平面環(huán)狀的射頻耦合線圈24，且所述射頻耦合線圈24位于所述壁面帶孔空心圓筒19上方，在真空腔體1外側(cè)設(shè)有射頻供電系統(tǒng)26，且所述射頻耦合線圈24通過(guò)線路與所述射頻供電系統(tǒng)26相連，在真空腔體1底端一側(cè)設(shè)有抽真空系統(tǒng)28、另一側(cè)設(shè)有氣壓采集系統(tǒng)27；所述真空腔體1底端設(shè)有疊置在一起的底端密封法蘭上蓋2和底端密封法蘭下蓋3，且所述壁面帶孔空心圓筒19下端穿過(guò)所述底端密封法蘭上蓋2后與所述底端密封法蘭下蓋3固連，所述底端密封法蘭下蓋3接地，且所述底端密封法蘭下蓋3上設(shè)有供電加熱元件5插入對(duì)應(yīng)壁面帶孔空心圓筒19的直通接口；所述壁面帶孔空心圓筒19上端設(shè)有可拆卸的螺紋封蓋20；所述供氣系統(tǒng)29包括供氣氣源12、質(zhì)量流量計(jì)11和擴(kuò)壓器連接器10，所述供氣氣源12與擴(kuò)壓器連接器10通過(guò)送氣管路連接，且所述送氣管路上設(shè)有所述質(zhì)量流量計(jì)11，所述擴(kuò)壓器連接器10下端設(shè)有連接器法蘭9，所述擴(kuò)壓器7上端設(shè)有擴(kuò)壓器上法蘭8，且所述連接器法蘭9與所述擴(kuò)壓器上法蘭8固連；所述射頻耦合線圈24為平面環(huán)狀金屬線圈，且所述金屬線圈沿著環(huán)形周向方向呈螺旋管結(jié)構(gòu)，所述真空腔體1側(cè)壁上設(shè)有絕緣密封座30，且所述射頻耦合線圈24下端固裝于所述絕緣密封座30上，所述射頻供電系統(tǒng)26包括依次串聯(lián)的射頻電源21和匹配器22，且所述匹配器22分別通過(guò)不同的同軸傳輸線23與所述射頻耦合線圈24下側(cè)兩端連接，兩個(gè)同軸傳輸線23均穿過(guò)所述絕緣密封座30，并且其中一個(gè)同軸傳輸線23與地線25連接；抽真空系統(tǒng)28先抽取真空腔體1內(nèi)的氣體，并且通過(guò)供氣系統(tǒng)29及擴(kuò)壓器7調(diào)節(jié)工作氣壓、氣體種類(lèi)及流速，然后壁面帶孔空心圓筒19內(nèi)的吸氣劑通過(guò)電加熱元件5加熱激活，然后射頻供電系統(tǒng)26啟動(dòng)使輸出功率通過(guò)射頻耦合線圈24作用于真空腔體1內(nèi)，并使真空腔體1內(nèi)產(chǎn)生等離子體。

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