恭喜華邦電子股份有限公司林士杰獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網恭喜華邦電子股份有限公司申請的專利蝕刻系統及其蝕刻方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114765112B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-27發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110033476.5，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權蝕刻系統及其蝕刻方法是由林士杰;柯順祥設計研發完成，并于2021-01-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本蝕刻系統及其蝕刻方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種蝕刻系統及其蝕刻方法。終點檢測器檢測對被處理材料進行蝕刻處理時產生的光在特定波長的光強度，而產生終點檢測信號。被處理材料包括材料層以及形成于材料層上的至少一罩幕層。控制裝置依據終點檢測信號判斷罩幕層的蝕刻完成時間，依據蝕刻完成時間計算罩幕層的厚度，并依據罩幕層的厚度調整材料層的蝕刻時間。
本發明授權蝕刻系統及其蝕刻方法在權利要求書中公布了：1.一種蝕刻系統，其特征在于，包括：蝕刻裝置，對被處理材料進行蝕刻處理，以形成特征結構，所述蝕刻裝置包括：終點檢測器，檢測對所述被處理材料進行所述蝕刻處理時產生的光在特定波長的光強度而產生終點檢測信號，所述被處理材料包括材料層以及形成于所述材料層上的至少一罩幕層；以及控制裝置，耦接所述蝕刻裝置，依據所述終點檢測信號判斷所述罩幕層的蝕刻完成時間，依據所述蝕刻完成時間計算所述罩幕層的厚度，依據所述罩幕層的厚度調整所述材料層的蝕刻時間。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人華邦電子股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣臺中市大雅區科雅一路8號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號