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龍圖騰網(wǎng)恭喜沈陽(yáng)芯達(dá)科技有限公司申請(qǐng)的專利一種單路雙通氣動(dòng)往復(fù)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)及其使用方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113653702B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-27發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111076728.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：F15B15/14；該發(fā)明授權(quán)一種單路雙通氣動(dòng)往復(fù)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)及其使用方法是由魏猛;胡延兵;張茂峰設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-09-14向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種單路雙通氣動(dòng)往復(fù)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)及其使用方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及一種單路雙通氣動(dòng)往復(fù)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)及其使用方法，屬于氣動(dòng)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，解決了相關(guān)技術(shù)中的此類往復(fù)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)所存在所占空間大以及成本高的技術(shù)問(wèn)題。該單路雙通氣動(dòng)往復(fù)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括座體，座體設(shè)有與第一氣管連接的連接桿，連接桿中開(kāi)設(shè)有氣流通道，氣流通道與第一氣管連通；微型氣缸，安裝在座體上，微型氣缸與氣流通道連通，微型氣缸的伸縮桿伸出于座體；外接活塞桿，外接活塞桿與伸縮桿連接；導(dǎo)向套，可拆卸固定連接在座體上，導(dǎo)向套套接在外接活塞桿外；能夠產(chǎn)生正壓氣體和負(fù)壓氣體的氣體發(fā)生裝置，第一氣管與氣體發(fā)生裝置連通。通過(guò)上述結(jié)構(gòu)，該往復(fù)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠滿足芯片制造的動(dòng)力所需，并且其體積更小，成本更低，實(shí)用性更強(qiáng)。

本發(fā)明授權(quán)一種單路雙通氣動(dòng)往復(fù)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)及其使用方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種單路雙通氣動(dòng)往復(fù)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：座體，所述座體設(shè)有與第一氣管連接的連接桿，所述連接桿中開(kāi)設(shè)有氣流通道，所述氣流通道與所述第一氣管連通；微型氣缸，安裝在所述座體上，所述微型氣缸的進(jìn)氣口與所述氣流通道連通，并且所述微型氣缸的伸縮桿伸出于所述座體；外接活塞桿，所述外接活塞桿與所述伸縮桿可拆卸固定連接；導(dǎo)向套，可拆卸固定連接在所述座體上，所述導(dǎo)向套套接在所述外接活塞桿外；能夠產(chǎn)生正壓氣體和負(fù)壓氣體的氣體發(fā)生裝置，所述氣體發(fā)生裝置的正壓氣體出口和負(fù)壓氣體出口通過(guò)三通閥門(mén)與所述第一氣管相連通。

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