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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海華力集成電路制造有限公司申請(qǐng)的專利一種區(qū)分化學(xué)機(jī)械拋光圖層故障缺陷源的方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114121701B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-27發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111327433.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/66；該發(fā)明授權(quán)一種區(qū)分化學(xué)機(jī)械拋光圖層故障缺陷源的方法是由曹海瑞設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-11-10向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種區(qū)分化學(xué)機(jī)械拋光圖層故障缺陷源的方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種區(qū)分化學(xué)機(jī)械拋光圖層故障缺陷源的方法，包括獲取產(chǎn)品芯片的設(shè)計(jì)信息，根據(jù)設(shè)計(jì)信息得到第一特征圖；獲取晶圓的圖形，以與第一特征圖相同的坐標(biāo)原點(diǎn)賦予晶圓的圖形，從而得到第二特征圖；將第二特征圖導(dǎo)入現(xiàn)有技術(shù)中的ADC服務(wù)器的數(shù)據(jù)庫(kù)，得到缺陷坐標(biāo)，其中數(shù)據(jù)庫(kù)根據(jù)不同的工藝機(jī)臺(tái)所產(chǎn)生的缺陷類型進(jìn)行缺陷編碼分類；ADC服務(wù)器在分類時(shí)，利用缺陷坐標(biāo)與第一特征圖的坐標(biāo)進(jìn)行匹配，從而對(duì)比得到缺陷坐標(biāo)處于第一特征圖上的位置；確定缺陷坐標(biāo)對(duì)應(yīng)的工藝機(jī)臺(tái)，能夠由循環(huán)自動(dòng)精確分類，排除人為干預(yù)，幫助工程師快速準(zhǔn)確的鎖定加工機(jī)臺(tái)，防止更多的影響批次產(chǎn)生，提高產(chǎn)品良率。

本發(fā)明授權(quán)一種區(qū)分化學(xué)機(jī)械拋光圖層故障缺陷源的方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種區(qū)分化學(xué)機(jī)械拋光圖層故障缺陷源的方法，其特征在于，至少包括：步驟一、獲取產(chǎn)品芯片的設(shè)計(jì)信息，芯片的設(shè)計(jì)信息包括芯片的設(shè)計(jì)版圖，根據(jù)所述設(shè)計(jì)版圖中的各個(gè)部分通過(guò)CAD繪制得到第一特征圖，其中所述第一特征圖的不同位置分別對(duì)應(yīng)不同的工藝機(jī)臺(tái)；步驟二、獲取晶圓的圖形，其中所述晶圓的圖形與所述第一特征圖的大小比例相同，以與所述第一特征圖相同的坐標(biāo)原點(diǎn)賦予所述晶圓的圖形，從而得到第二特征圖；步驟三、將所述第二特征圖導(dǎo)入ADC服務(wù)器的數(shù)據(jù)庫(kù)，使得所述ADC服務(wù)器得到所述第二特征圖中的缺陷坐標(biāo)，其中所述數(shù)據(jù)庫(kù)根據(jù)不同的所述工藝機(jī)臺(tái)所產(chǎn)生的缺陷類型進(jìn)行缺陷編碼分類；步驟四、所述ADC服務(wù)器對(duì)所述缺陷坐標(biāo)進(jìn)行分類，利用所述缺陷坐標(biāo)與所述第一特征圖的坐標(biāo)進(jìn)行匹配，從而對(duì)比得到所述缺陷坐標(biāo)處于所述第一特征圖上的位置；步驟五、根據(jù)步驟三中的所述缺陷編碼確定所述缺陷坐標(biāo)對(duì)應(yīng)的所述工藝機(jī)臺(tái)。

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