恭喜應用材料公司G·付獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜應用材料公司申請的專利射頻接地系統和方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115917040B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180039961.1，技術領域涉及：C23C16/458；該發明授權射頻接地系統和方法是由G·付;T·A·恩古耶;A·K·班塞爾設計研發完成，并于2021-05-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本射頻接地系統和方法在說明書摘要公布了：本公開提供一種裝置，包括腔室主體及蓋，在其中界定容積。裝置包括基板支撐件，布置于容積中與蓋相對。基板支撐件包括支撐主體，布置于主干上；及接地板，布置于支撐主體與主干之間。頂部凸緣耦合至接地板的下部外周表面；且底部凸緣耦合至腔室主體的底部。底部凸緣及頂部凸緣以利用多個條帶彼此耦合，條帶的各者具有耦合至底部凸緣的第一端及耦合至頂部凸緣的第二端。
本發明授權射頻接地系統和方法在權利要求書中公布了：1.一種裝置，包含：腔室主體及蓋，在其中界定容積；基板支撐件，布置于所述容積中與所述蓋相對，所述基板支撐件包含：支撐主體，布置于主干上，所述支撐主體配置為耦合至射頻源，所述射頻源通過所述主干饋送；接地板，耦合至接地并布置于所述支撐主體與所述主干之間；和絕緣板，布置于所述支撐主體與所述接地板之間，所述絕緣板至少部分地在所述支撐主體與所述接地板之間提供電絕緣；圓形頂部凸緣，耦合至所述接地板的下部外周表面，其中所述圓形頂部凸緣包括中心開口，所述中心開口布置為穿過所述圓形頂部凸緣，用于提供對射頻供給饋通的訪問；圓形底部凸緣，耦合至所述腔室主體的底部；及多個條帶，所述條帶的各者包含耦合至所述圓形底部凸緣的第一端及耦合至所述圓形頂部凸緣的第二端，所述多個條帶提供從所述腔室主體的所述底部到連接于接地的所述接地板的射頻路徑。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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