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龍圖騰網(wǎng)恭喜佳能株式會社申請的專利輸送設備、基板處理設備以及制造制品的方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN113937042B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-05-23發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202110709764.8，技術領域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權輸送設備、基板處理設備以及制造制品的方法是由牛久健太郎設計研發(fā)完成，并于2021-06-25向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

本輸送設備、基板處理設備以及制造制品的方法在說明書摘要公布了：提供了一種用于輸送基板卡盤的輸送設備。設備包括手，其用于支撐基板卡盤；主體，其用于繞豎直軸線樞轉地支撐所述手并且在水平方向和豎直方向上移動；以及引導部分，其用于引導所述手的樞轉運動。所述手包括由主體支撐的手遠端部分和手近端部分，并且手近端部分的面對主體的端面形成為以手遠端部分之間的基準位置的豎直軸線為中心的圓的圓弧形狀，并且引導部分包括引導表面，所述引導表面具有與手近端部分的端面對應的形狀并且能與所述端面可滑動地接觸。還提供了基板處理設備以及制造制品的方法。

本發(fā)明授權輸送設備、基板處理設備以及制造制品的方法在權利要求書中公布了：1.一種用于輸送基板卡盤的輸送設備，所述輸送設備包括：手，其被配置為支撐所述基板卡盤；主體，其被配置為繞豎直軸線樞轉地支撐所述手并且在水平方向和豎直方向上移動；以及引導部分，其設置在所述主體中并被配置為引導所述手的樞轉運動，其中所述引導部分包括平行于所述豎直方向的引導表面，其中所述手包括：多個手遠端部分，每個手遠端部分包括放置表面，所述基板卡盤將被放置在該放置表面上；以及手近端部分，所述手近端部分由所述主體支撐并被配置為支撐所述多個手遠端部分中的每一個手遠端部分的基座部分，其中所述手近端部分包括面對所述引導表面的端面，其中所述端面形成為以所述多個手遠端部分之間的基準位置的豎直軸線為中心的圓的圓弧形狀，其中所述豎直軸線對應于由所述手支撐的基板卡盤的中心軸線并且所述圓弧形狀允許由所述手支撐的基板卡盤能夠圍繞所述豎直軸線旋轉，并且其中所述引導表面具有與所述手近端部分的所述端面對應的形狀并且被配置成與所述端面可滑動地接觸。

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