恭喜廣東思沃激光科技有限公司王建勛獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜廣東思沃激光科技有限公司申請的專利一種優化DMD倍率和夾角標定的方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115236951B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211072070.9,技術領域涉及:G03F7/20;該發明授權一種優化DMD倍率和夾角標定的方法是由王建勛;吳明倉;羅男生;梁經倫;黃小婷設計研發完成,并于2022-09-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種優化DMD倍率和夾角標定的方法在說明書摘要公布了:本發明涉及光學技術領域,公開了一種優化DMD倍率和夾角標定的方法,先在曝光機的圖形文件上設置四個數據圖形,并將數據圖形輸出到DMD數字微鏡,DMD數字微鏡通過投射點投影相應的四個圖形,在DMD數字微鏡的投圖視野內對應形成四個投影圖形,其中兩個投影圖形沿X軸分布,另外兩個投影圖形沿Y軸分布,移動三維運動平臺分別拍四個投影圖形,得到四個投影圖形的坐標數據,通過四組坐標數據進行相應計算可以分別得到X方向和Y方向的放大倍率和夾角。該方法通過計算X方向和Y方向的放大倍率和夾角,減小了單方向測試結果的誤差,使得DMD倍率和夾角的標定得到優化。
本發明授權一種優化DMD倍率和夾角標定的方法在權利要求書中公布了:1.一種優化DMD倍率和夾角標定的方法,其特征在于,包括以下步驟:S1、在曝光機的三維運動平臺上設置光學成像鏡頭和DMD數字微鏡;S2、在所述曝光機的圖形文件上設置四個數據圖形,并將所述四個數據圖形輸出到所述DMD數字微鏡;S3、所述DMD數字微鏡通過投射點投影相應的圖形,所述DMD數字微鏡的投圖視野內對應形成四個投影圖形,其中兩個投影圖形沿X軸分布,另外兩個投影圖形沿Y軸分布;S4、移動所述三維運動平臺獲取其中一個投影圖形的中心,并使得所述投影圖形中心的位置與所述光學成像鏡頭中心的位置重合,此時,記錄坐標數據;S5、重復步驟S4,得到所述四個投影圖形的坐標數據;S6、通過預設算法對X方向的兩個投影圖形中心的坐標數據進行計算,得到X方向的放大倍率和夾角;通過預設算法對Y方向的兩個投影圖形中心的坐標數據進行計算,得到Y方向的放大倍率和夾角。
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