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龍圖騰網(wǎng)恭喜浙江晟霖益嘉科技有限公司申請的專利一種易于自動定位的晶圓制備裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119419160B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510005349.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/68；該發(fā)明授權(quán)一種易于自動定位的晶圓制備裝置是由賀忻;陳明;王保;王慧鋒;徐鈞設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-01-03向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種易于自動定位的晶圓制備裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種易于自動定位的晶圓制備裝置，包括EFEM腔室和若干圍繞真空傳輸腔布置的工藝腔室，所述真空傳輸腔和EFEM腔室之間設(shè)置有真空過渡腔，所述真空傳輸腔中在靠近真空過渡腔處設(shè)置有晶圓傳輸檢測位,所述晶圓傳輸檢測位處設(shè)置有晶圓定位檢測機構(gòu)，所述晶圓定位檢測機構(gòu)包括位移測量儀，所述位移測量儀安裝在圓形導(dǎo)軌上，并可在圓形導(dǎo)軌上旋轉(zhuǎn)測量晶圓片的位置；所述EFEM腔室中設(shè)置有大氣機械手將晶圓片送至真空過渡腔；所述真空傳輸腔中設(shè)置有真空機械手抓取晶圓片并送至晶圓傳輸檢測位。本發(fā)明不但能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓的精確定位和檢測，提高半導(dǎo)體制造的精確度和質(zhì)量，而且可以降低設(shè)備的復(fù)雜性、維護(hù)難度和成本。

本發(fā)明授權(quán)一種易于自動定位的晶圓制備裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種易于自動定位的晶圓制備裝置，包括EFEM腔室（3）和若干圍繞真空傳輸腔（6）布置的工藝腔室（9），所述真空傳輸腔（6）和EFEM腔室（3）之間設(shè)置有真空過渡腔（4），其特征在于，所述真空傳輸腔（6）中在靠近真空過渡腔（4）處設(shè)置有晶圓傳輸檢測位11,所述晶圓傳輸檢測位11處設(shè)置有晶圓定位檢測機構(gòu)（5），所述晶圓定位檢測機構(gòu)（5）包括位移測量儀（5-8），所述位移測量儀（5-8）安裝在圓形導(dǎo)軌（5-1）上，并可在圓形導(dǎo)軌（5-1）上旋轉(zhuǎn)測量晶圓片（10）的位置；所述EFEM腔室（3）中設(shè)置有大氣機械手（2），所述大氣機械手（2）將晶圓片（10）送至真空過渡腔（4）；所述真空傳輸腔（6）中設(shè)置有真空機械手（7），所述真空機械手（7）從真空過渡腔（4）抓取晶圓片（10）并送至晶圓傳輸檢測位11，完成檢測后再傳送至工藝腔室（9）；所述位移測量儀（5-8）固定在滑塊（5-3）上，所述滑塊（5-3）上設(shè)置有驅(qū)動電機（5-6），所述驅(qū)動電機（5-6）的電機驅(qū)動軸（5-7）上設(shè)置有驅(qū)動齒輪（5-5），所述圓形導(dǎo)軌（5-1）的外圓周設(shè)置有齒輪并與驅(qū)動齒輪（5-5）相嚙合，所述位移測量儀（5-8）對準(zhǔn)圓形導(dǎo)軌（5-1）中心做旋轉(zhuǎn)運動測量晶圓片識別缺口（10a）和中心的位置；所述位移測量儀（5-8）上設(shè)有安裝U型槽（5-10），所述安裝U型槽（5-10）上安裝有測量儀固定螺釘（5-9），所述安裝U型槽（5-10）用于徑向調(diào)節(jié)并固定位移測量儀（5-8）于滑塊（5-3）上；所述圓形導(dǎo)軌（5-1）固定安裝在真空傳輸腔（6）的腔蓋上，所述圓形導(dǎo)軌（5-1）的直徑大于晶圓片（10）的直徑。

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