買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜中國計量科學研究院申請的專利一種用于皮米級位移臺的X射線干涉儀及位移測量方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119714144B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510213079.4，技術領域涉及：G01B15/00；該發明授權一種用于皮米級位移臺的X射線干涉儀及位移測量方法是由李偉;高思田;吳金杰;施玉書;黃鷺設計研發完成，并于2025-02-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種用于皮米級位移臺的X射線干涉儀及位移測量方法在說明書摘要公布了：本申請公開了一種用于皮米級位移臺的X射線干涉儀及位移測量方法，涉及干涉儀領域，該干涉儀中第一分光器設置在X射線源的出射光路上；第一反射器和第二分光器分別設置在第一分光器的透射光路上；分析器設置在第一反射器的反射光路和第二分光器的第一透射光路上；第三分光器設置在第二分光器的第二透射光路上；第二反射器設置在第三分光器的反射光路上；第三反射器設置在第三分光器的透射光路上；第三分光器設置在第二和第三反射器的反射光路上；探測模塊設置在分析器和第三分光器的出射光路上，探測干涉條紋強度，處理器根據強度計算X、Y方向上的位移，本申請僅用一個光源即可實現同時對二維運動進行皮米級精度的測量，結構簡單，輻射風險小。

本發明授權一種用于皮米級位移臺的X射線干涉儀及位移測量方法在權利要求書中公布了：1.一種用于皮米級位移臺的X射線干涉儀，其特征在于，所述用于皮米級位移臺的X射線干涉儀包括：X射線源、第一分光器、第二分光器、第三分光器、第一反射器、第二反射器、第三反射器、分析器、探測模塊和處理器；所述第三反射器和所述分析器設置在皮米級位移臺的運動部分；所述第一分光器、所述第二分光器、所述第三分光器、所述第一反射器、所述第二反射器、所述第三反射器和所述分析器均為晶體；所述第一分光器設置在所述X射線源的出射光路上；所述第一反射器設置在所述第一分光器的反射光路上；所述第二分光器設置在所述第一分光器的透射光路上；所述第一分光器的反射光路和所述第一分光器的透射光路相互垂直；所述分析器設置在所述第一反射器的反射光路和所述第二分光器的反射光路上；第三分光器設置在所述第二分光器的透射光路上；所述第二反射器設置在所述第三分光器的反射光路上；所述第三反射器設置在所述第三分光器的透射光路上；所述第三分光器設置在所述第二反射器的反射光路和所述第三反射器的反射光路上；所述探測模塊設置在所述分析器的出射光路和所述第三分光器的出射光路上，所述探測模塊用于探測所述分析器的出射光路產生的干涉條紋的強度和所述第三分光器的出射光路產生的干涉條紋的強度；所述處理器與所述探測模塊連接，所述處理器用于根據所述分析器的出射光路產生的干涉條紋的強度和所述第三分光器的出射光路產生的干涉條紋的強度計算皮米級位移臺在X方向上和Y方向上的位移；X方向和Y方向垂直。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國計量科學研究院，其通訊地址為：100013 北京市朝陽區北三環東路18號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。