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龍圖騰網恭喜蘇州匯影光學技術有限公司申請的專利一種邊緣曝光機曝光參數實時監測方法及系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119758680B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510253693.3，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種邊緣曝光機曝光參數實時監測方法及系統是由李治顯;謝曉凱;萬佳;劉霞設計研發完成，并于2025-03-05向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種邊緣曝光機曝光參數實時監測方法及系統在說明書摘要公布了：本發明涉及參數監測領域，尤其涉及一種邊緣曝光機曝光參數實時監測方法及系統，方法包括：獲取邊緣曝光機每個時刻下的各項參數，利用不同時刻的同項參數構建參數序列；將參數序列進行轉換得到頻率序列；計算每個頻率值與邊緣曝光機運行狀態的一致性，一致性表示在相應頻率值時邊緣曝光機的運行狀態，利用一致性對頻率值進行二分類得到正常頻率集和異常頻率集；計算當前時刻各項參數的異常程度；計算邊緣曝光機的異常程度，邊緣曝光機的異常程度與參數的異常程度正相關，響應于異常程度大于預設的異常閾值，發出邊緣曝光機異常的提示。本發明提高了對邊緣曝光機曝光參數以及工作狀態監測結果的準確性。

本發明授權一種邊緣曝光機曝光參數實時監測方法及系統在權利要求書中公布了：1.一種邊緣曝光機曝光參數實時監測方法，其特征在于，包括步驟：獲取邊緣曝光機每個時刻下的各項參數，利用不同時刻的同項參數構建參數序列；將參數序列進行轉換得到頻率序列，根據頻率序列得到多個頻率值；計算每個頻率值與邊緣曝光機運行狀態的一致性，一致性表示在相應頻率值時邊緣曝光機的運行狀態，利用一致性對頻率值進行二分類得到正常頻率集和異常頻率集；計算各項參數與邊緣曝光機運行狀態的一致性，表達式為： ，表示第k項參數和曝光機運行狀態之間的一致性，norm表示歸一化函數，表示第k項參數的所有頻率值和邊緣曝光機運行狀態一致性的均值，表示第k項參數的所有頻率值和邊緣曝光機運行狀態一致性的標準差，exp表示以e為底的指數函數；計算當前時刻各項參數與相應異常頻率集的第一距離，以及與相應正常頻率集的第二距離，將第一距離和第二距離的比值作為距離比；計算當前時刻各項參數的異常程度，參數的異常程度與距離比負相關；計算邊緣曝光機的異常程度，邊緣曝光機的異常程度與參數的異常程度正相關，響應于異常程度大于預設的異常閾值，發出邊緣曝光機異常的提示。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州匯影光學技術有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市高新區通安鎮真北路88號7號廠房西側一半的1-2樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。