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龍圖騰網恭喜正陽融合微電子技術(珠海)有限公司申請的專利一種氣液噴淋系統及其氣液供給管理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119812063B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510289200.1，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種氣液噴淋系統及其氣液供給管理方法是由彭勇;楊正朝設計研發完成，并于2025-03-12向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種氣液噴淋系統及其氣液供給管理方法在說明書摘要公布了：本發明提供了一種氣液噴淋系統及其氣液供給管理方法，所述系統包括氣液管理模塊、產品噴淋模塊和設備維護輸出模塊。氣液管理模塊集成氮氣、壓縮空氣、純水、化學藥水及循環水輸入模組，通過第一連通管并聯至產品噴淋模塊和設備維護模塊，實現介質快速切換與混合供給；產品噴淋模塊的輸入噴淋模組與輸出回收模組連接，輸出回收模組通過分類回收閥單元實現藥液循環、純水復用及廢液定向排放；設備維護模塊通過獨立開關閥實現在線清潔。管理方法包括單一、交替或混合介質沖洗模式，動態調節氣液流量比例控制湍流強度，并基于濃度閾值自動切換藥液循環。本發明涉及TGV氣液噴淋技術領域。

本發明授權一種氣液噴淋系統及其氣液供給管理方法在權利要求書中公布了：1.一種氣液噴淋系統，其特征在于：包括氣液管理模塊（1）、產品噴淋模塊（2）和設備維護輸出模塊（3）；所述氣液管理模塊（1）包括至少一個氣態介質輸入模組（10）和至少一個液態介質輸入模組（20），所述氣態介質輸入模組（10）中包含氮氣輸入模組（11）和壓縮空氣輸入模組（12）中的至少一種，所述液態介質輸入模組（20）中包含純水輸入模組（13）、化學藥水輸入模組（15）中的至少一種，各輸入模組的輸出端均通過第一連通管（4）連接，所述第一連通管（4）的輸出端分別連通至所述產品噴淋模塊（2）的產品噴淋輸入開關閥單元（211）和所述設備維護輸出模塊（3）的設備噴淋維護輸入開關閥單元（31），所述產品噴淋模塊（2）包括輸入噴淋模組（21）和輸出回收模組（22），所述輸入噴淋模組（21）的輸入端連接所述產品噴淋輸入開關閥單元（211），所述輸出回收模組（22）通過第二連通管（221）與所述輸入噴淋模組（21）的排放端連接；所述產品噴淋輸入開關閥單元（211）和設備噴淋維護輸入開關閥單元（31）為電氣互鎖設計；在設備維護場景下，關閉所述產品噴淋輸入開關閥單元（211），開啟所述設備噴淋維護輸入開關閥單元（31），通過選擇氣態介質或液態介質通過外部維護設備對噴淋系統進行在線清潔。

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