恭喜艾龐半導體科技(四川)有限公司周磊獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜艾龐半導體科技(四川)有限公司申請的專利一種硅片清洗設備獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN222890263U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-23發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202520725323.0,技術領域涉及:B08B3/12;該實用新型一種硅片清洗設備是由周磊;段琳琳;丁媛;侯斌設計研發完成,并于2025-04-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種硅片清洗設備在說明書摘要公布了:本實用新型提供了一種硅片清洗設備,屬于硅片加工技術領域。包括支撐架和放置架,支撐架頂部設置有清潔槽,清潔槽內盛裝有清洗液,清潔槽的側壁上水平間隔設置有若干個超聲波發生器,放置架由連接架和限位架組成,放置架內形成由若干個用于容納硅片的放置槽,放置架上設置有用于驅使硅片轉動的第一驅動件,支撐架上位于清潔槽的一側設置有放置臺。通過放置架可以將多片硅片均勻間隔地限位安裝在放置架中,可有效避免硅片之間相互摩擦,并且在將放置架轉動沉入清潔槽內后,可通過清洗液和超聲波發生器對硅片的兩面進行有效的清潔,具有對清洗過程中硅片起到保護作用的效果。
本實用新型一種硅片清洗設備在權利要求書中公布了:1.一種硅片清洗設備,其特征在于:包括支撐架1和放置架2,所述支撐架1頂部設置有清潔槽11,所述清潔槽11內盛裝有清洗液,所述清潔槽11的側壁上水平間隔設置有若干個超聲波發生器111,所述放置架2包括連接架21和限位架22,所述連接架21鉸接設置在支撐架1上,所述連接架21上間隔設置有若干個用于容納硅片的放置槽23,所述限位架22鉸接設置在連接架21上,所述限位架22的活動端與連接架21可拆卸連接,所述限位架22用于限制硅片從放置槽23內脫離,所述放置架2上設置有用于驅使硅片轉動的第一驅動件,所述支撐架1上位于清潔槽11的一側設置有放置臺12。
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