恭喜株式會(huì)社迪思科齋藤良信獲國(guó)家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜株式會(huì)社迪思科申請(qǐng)的專利保護(hù)部件的形成方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN112786487B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-20發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202011189624.4,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/67;該發(fā)明授權(quán)保護(hù)部件的形成方法是由齋藤良信設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2020-10-30向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本保護(hù)部件的形成方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明提供保護(hù)部件的形成方法,在使樹脂成為液態(tài)而形成保護(hù)部件時(shí),良好地識(shí)別樹脂已成為液態(tài)。該保護(hù)部件的形成方法在晶片的一個(gè)面上形成保護(hù)部件,其中,該保護(hù)部件的形成方法包含如下的樹脂狀態(tài)識(shí)別工序:將與該晶片的一個(gè)面接觸的熱塑性樹脂加熱,并且在載臺(tái)的樹脂載置面與晶片保持面之間傳播超聲波振動(dòng),對(duì)夾持在該晶片保持面所保持的晶片的一個(gè)面與該樹脂載置面之間的該熱塑性樹脂是否已一體化進(jìn)行識(shí)別。在識(shí)別為已經(jīng)一體化時(shí),將熱塑性樹脂在晶片的一個(gè)面的整個(gè)面上推開,接著對(duì)熱塑性樹脂進(jìn)行冷卻而硬化。
本發(fā)明授權(quán)保護(hù)部件的形成方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種保護(hù)部件的形成方法,在晶片的一個(gè)面上形成由熱塑性樹脂形成的保護(hù)部件,其中,該保護(hù)部件的形成方法具有如下的工序:樹脂提供工序,在載臺(tái)的樹脂載置面上配置多個(gè)粒狀的熱塑性樹脂;晶片保持工序,通過晶片保持單元的晶片保持面而對(duì)晶片的另一個(gè)面進(jìn)行保持;接觸工序,使用上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)使該晶片保持單元和該載臺(tái)在相對(duì)地接近的方向上移動(dòng),從而使該晶片保持單元所保持的晶片的一個(gè)面與粒狀的該熱塑性樹脂接觸;樹脂狀態(tài)識(shí)別工序,將與該晶片的一個(gè)面接觸的粒狀的該熱塑性樹脂加熱,并且在該樹脂載置面與該晶片保持面之間傳播超聲波振動(dòng),對(duì)夾持在該晶片保持面所保持的晶片的一個(gè)面與該樹脂載置面之間的該熱塑性樹脂是否已一體化進(jìn)行識(shí)別;推開工序,通過該晶片將在該樹脂狀態(tài)識(shí)別工序中識(shí)別為已一體化的該熱塑性樹脂在該晶片的一個(gè)面的整個(gè)面上推開;以及硬化工序,對(duì)推開的該熱塑性樹脂進(jìn)行冷卻而硬化,該保護(hù)部件的形成方法形成對(duì)晶片的一個(gè)面的整個(gè)面進(jìn)行保護(hù)的保護(hù)部件。
如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人株式會(huì)社迪思科,其通訊地址為:日本東京都;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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