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龍圖騰網恭喜塞梅孔公司申請的專利等離子涂覆系統和用于對工件進行涂覆的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114981945B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-20發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080092011.0，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權等離子涂覆系統和用于對工件進行涂覆的方法是由沃爾特·馬伊設計研發完成，并于2020-12-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本等離子涂覆系統和用于對工件進行涂覆的方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種用于將工件30保持在處理室中的裝置10。本發明還涉及一種涂覆系統20和一種用于對工件30進行涂覆的方法。本發明的目的是允許精確調節工件30的位置的高度同時以安全且穩定的方式支承工件。這由于下述而實現：保持裝置10包括用于工件30的托盤72、以及用于托盤72的高度可調節的第一支承元件22和高度可調節的第二支承元件48，其中，支承元件22、48中的每個支承元件包括至少一個第一和第二肢部元件26、56，并且在每種情況下，第一和第二肢部元件26、56聯接成圍繞樞轉軸線X、Y相對于彼此樞轉，第一支承元件22的樞轉軸線X布置成與第二支承元件48的樞轉軸線Y成一角度。

本發明授權等離子涂覆系統和用于對工件進行涂覆的方法在權利要求書中公布了：1.一種等離子涂覆系統，包括：處理室，所述處理室具有用于在工件30上產生涂層的相關的等離子涂覆裝置，保持裝置10，所述保持裝置10用于在等離子沉積過程期間將所述工件30保持在所述處理室中，所述保持裝置10包括：用于所述工件30的托盤72，用于所述托盤72的高度可調節的第一支承元件22和高度可調節的第二支承元件48，其中，支承元件22、48中的每個支承元件包括至少一個第一肢部元件和至少一個第二肢部元件，其中，相應的所述第一肢部元件和相應的所述第二肢部元件聯接成能夠圍繞樞轉軸線X、Y相對于彼此樞轉，并且其中，所述第一支承元件22的樞轉軸線X布置成與所述第二支承元件48的樞轉軸線Y成一角度，其中，所述保持裝置10布置成能夠在第一位置與第二位置之間移位，并且其中，所述保持裝置10在所述第一位置中布置在所述處理室的內部并且在所述第二位置中至少部分地布置在所述處理室的外部，其中，所述第一支承元件22和或所述第二支承元件48包括至少一個軸向彈簧38，所述軸向彈簧38用于在所述第一支承元件22和或所述第二支承元件48的所述樞轉軸線X、Y的方向上施加力作用。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人塞梅孔公司，其通訊地址為：德國維塞倫；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。