恭喜北京清研半導科技有限公司梁剛強獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜北京清研半導科技有限公司申請的專利一種判斷籽晶接液水平度的裝置及方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115074832B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-20發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210918776.6,技術領域涉及:C30B29/36;該發明授權一種判斷籽晶接液水平度的裝置及方法是由梁剛強;蘇奕霖;李強;陳雅薇設計研發完成,并于2022-08-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種判斷籽晶接液水平度的裝置及方法在說明書摘要公布了:本發明公開一種判斷籽晶接液水平度的裝置及方法,其中裝置部分包括石墨坩堝、石墨籽晶托、石墨籽晶桿和碳化硅籽晶,將石墨籽晶托上的單個正極石墨電極和兩個及以上負極石墨電極置于籽晶托邊緣并按照旋轉對稱排布,使得多個電極處于同一水平面內,將籽晶下降至液面,位于籽晶托上的電極與溶液形成閉合回路電流,并通過外部電流表指針偏轉情況來判斷籽晶與溶液接觸時的水平度,以確保生長界面處流動的穩定性與晶體的高質量生長,為后續的晶體質量分析提供依據。接液過程結束后,導線與石墨電極分離并提拉至生長腔中上部,避免對晶體生長過程產生電磁干擾。此外,石墨電極與導線可多次利用,有效地節約了工藝成本。
本發明授權一種判斷籽晶接液水平度的裝置及方法在權利要求書中公布了:1.一種判斷籽晶接液水平度的裝置,其特征在于:包括石墨坩堝,所述石墨坩堝內盛裝有用于碳化硅單晶生長的熔融液;石墨籽晶桿,所述石墨籽晶桿的頂部與不銹鋼籽晶桿相連,所述石墨籽晶桿的底端位于所述石墨坩堝的生長腔內,所述石墨籽晶桿可沿所述石墨坩堝的生長腔上下移動;石墨籽晶托,所述石墨籽晶桿的底部連接有所述石墨籽晶托,所述石墨籽晶托上設置有多個石墨電極;多個所述石墨電極包括一個正極石墨電極和兩個或兩個以上的負極石墨電極,多個所述石墨電極置于所述石墨籽晶托的邊緣并以石墨籽晶托的中心點旋轉對稱排布;每個所述石墨電極與電源連接的回路上均設置有電流表;碳化硅籽晶,所述石墨籽晶托的底部粘接有所述碳化硅籽晶;所述石墨坩堝的外層包裹有保溫材料;所述不銹鋼籽晶桿通過上下法蘭夾具與所述石墨籽晶桿相連接,所述不銹鋼籽晶桿用于帶動所述石墨籽晶桿沿所述石墨坩堝的生長腔上下移動。
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