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龍圖騰網恭喜昆明理工大學;山東恒邦冶煉股份有限公司;煙臺恒邦高純新材料有限公司申請的專利一種高壓液封直拉法制備超高純砷單晶棒工藝獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119287492B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-20發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411348387.X，技術領域涉及：C30B15/00；該發明授權一種高壓液封直拉法制備超高純砷單晶棒工藝是由鄒琳;李輝;劉元輝;董準勤;李照剛;張晛;孫瑞濤;劉大春;周君祺;曲興啟;王魯;呂潤豐;馮亮;孔德志設計研發完成，并于2024-09-26向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種高壓液封直拉法制備超高純砷單晶棒工藝在說明書摘要公布了：本發明公開了一種高壓液封直拉法制備超高純砷單晶棒工藝，以7N高純砷為原料，經原料準備、真空脫氧、升溫化料、直拉提純、降溫出爐、產品處理六步最終制得分子束外延用9N超高純砷單晶棒。本高壓液封直拉法制備9N超高純砷單晶棒工藝，能夠高效達成硅含量1ppb、氧含量1ppm的技術指標，滿足分子束外延需要，能夠根據客戶要求，靈活調整產品規格，無需特定規格的模具，高效生產。

本發明授權一種高壓液封直拉法制備超高純砷單晶棒工藝在權利要求書中公布了：1.一種高壓液封直拉法制備超高純砷單晶棒工藝，其特征在于包括以下工藝步驟：步驟1原料準備：在手套箱中稱取3~5kg的7N高純砷，將其投入高純熱解氮化硼坩堝中，隨后加入0.5~1kg高純氧化硼鋪于砷料上層；將坩堝從手套箱中轉出，置于直拉爐內，依次安裝各組件后封閉爐體；開啟循環水，開啟真空泵，使用高純氬氣體將爐內氣體置換三次，人員撤出現場，設備切換為遠程操控模式；步驟2真空脫氧：開啟真空泵，抽真空至10Pa，升高溫場溫度至250~300℃，恒溫保持1h，關閉真空泵，隨后使用惰性氣體增壓至4.0~5.0MPa；步驟3升溫化料：升高溫場溫度至400~500℃，恒溫30分鐘，使氧化硼全部融化形成液封，隨后升高溫場溫度至820~850℃，待原料全部融化后，于800~820℃恒溫保持30min，設定晶轉速度3~20rpm正向、蝸轉速度3~20rpm反向，烤晶10min；步驟4直拉提純：手動操作潤晶、引晶、縮頸、放肩至砷棒直徑達30mm，設定提拉速度0.001~1mms，等徑生長，至20~40mm處升溫縮頸，隨后調節溫度二次放肩至30mm等徑生長，至330~350mm處收尾，將砷棒與熔體脫離；步驟5降溫出爐：關閉晶轉、蝸轉，停止加熱，以1℃min速率降溫至350℃，恒溫保持30min，隨后自然冷卻至室溫，開啟真空泵，使用惰性氣體將爐內氣體進行置換，打開爐體將砷單晶棒取出；步驟6產品處理：將砷單晶棒轉移至手套箱中清洗槽內，使用UP-S級的電子級乙醇浸泡清洗五次，徹底去除表面殘留的氧化硼，將砷棒從清洗倉中取出置于烘干倉內，將手套箱溫度升至80~100℃并開啟清洗模式，工藝運行1~2h，徹底烘干表面殘留的乙醇，將砷棒敲掉頭端，并真空封裝，最終制得硅含量1ppb、氧含量1ppm的9N超高純砷單晶棒。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人昆明理工大學;山東恒邦冶煉股份有限公司;煙臺恒邦高純新材料有限公司，其通訊地址為：650000 云南省昆明市一二一大街文昌路68號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。