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恭喜湖南大學梁世維獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜湖南大學申請的專利一種抗輻射加固的SiC MOSFET器件結構及制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119364804B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-20發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411535150.2,技術領域涉及:H10D30/60;該發明授權一種抗輻射加固的SiC MOSFET器件結構及制備方法是由梁世維;王俊;米盧;陳家祺設計研發完成,并于2024-10-30向國家知識產權局提交的專利申請。

一種抗輻射加固的SiC MOSFET器件結構及制備方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種抗輻射加固的SiCMOSFET器件結構及制備方法,包括N?漂移層,所述N?漂移層的下方設有N+襯底層,所述N+襯底層的下方設有漏極金屬層,所述N?漂移層的上方設有載流子存儲層,所述載流子存儲層的上方設有源極金屬層,所述源極金屬下方的中間設有JFET區,所述JFET區內部引入溝槽,所述溝槽的內部設有P型摻雜區和填充區,所述溝槽的兩側設有P?base區,所述P?base區內設有N+源區和P+區。本發明采用上述的一種抗輻射加固的SiCMOSFET器件結構及制備方法,大幅降低薄氧中的電場強度,從而提升SiCMOSFET器件抗單粒子穿能力;僅需增加溝槽刻蝕、溝槽側壁和底部P型離子注入、溝槽回填等工藝既可,工藝復雜度不高。

本發明授權一種抗輻射加固的SiC MOSFET器件結構及制備方法在權利要求書中公布了:1.一種抗輻射加固的SiCMOSFET器件結構,其特征在于,包括N-漂移層,所述N-漂移層的下方設有N+襯底層,所述N+襯底層的下方設有漏極金屬層,所述N-漂移層的上方設有載流子存儲層,所述載流子存儲層的上方設有源極金屬層,所述源極金屬下方的中間設有JFET區,所述JFET區內部引入溝槽,所述溝槽的兩側設有P-base區,所述P-base區內設有N+源區和P+區;所述溝槽的側壁和底部設有P型摻雜區,所述溝槽的內部設有填充區,所述P型摻雜區中設有P型雜質,所述P型摻雜區位于溝槽的側壁和底部,所述填充區填充P型多晶硅源極和N型多晶硅,所述N型多晶硅被P型多晶硅源極包圍,所述填充區位于P型摻雜區的內部。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人湖南大學,其通訊地址為:410082 湖南省長沙市岳麓區麓山南路2號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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