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龍圖騰網(wǎng)恭喜浙江大學(xué);浙江創(chuàng)芯集成電路有限公司申請(qǐng)的專利無(wú)監(jiān)督掃描電子顯微鏡圖像的失真矯正匹配方法和系統(tǒng)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119091441B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-20發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202411562064.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06V20/69；該發(fā)明授權(quán)無(wú)監(jiān)督掃描電子顯微鏡圖像的失真矯正匹配方法和系統(tǒng)是由陳一寧;汪玉萍;高大為設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-05向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本無(wú)監(jiān)督掃描電子顯微鏡圖像的失真矯正匹配方法和系統(tǒng)在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種無(wú)監(jiān)督掃描電子顯微鏡圖像的失真矯正匹配方法和系統(tǒng)，屬于圖像處理領(lǐng)域。獲取晶圓的SEM圖像和設(shè)計(jì)版圖文件，設(shè)計(jì)版圖文件包含SEM圖像中的相應(yīng)區(qū)域；利用無(wú)監(jiān)督SEM圖案位置提取模型將SEM圖像轉(zhuǎn)換為參考版圖風(fēng)格圖像，得到攜帶SEM圖像中圖案位置信息的假參考版圖，將假參考版圖與設(shè)計(jì)版圖文件匹配，根據(jù)設(shè)計(jì)版圖文件中與SEM圖像相匹配的真實(shí)版圖區(qū)域生成匹配版圖；采用光流法計(jì)算假參考版圖與匹配版圖之間的形變圖，利用形變圖矯正SEM圖像中的畸變，得到矯正后的SEM圖像；所述矯正后的SEM圖像與匹配版圖用于晶圓的熱點(diǎn)檢測(cè)和輪廓分析。本發(fā)明解決了晶圓SEM圖像存在的視場(chǎng)失真問(wèn)題，降低了匹配誤差。

本發(fā)明授權(quán)無(wú)監(jiān)督掃描電子顯微鏡圖像的失真矯正匹配方法和系統(tǒng)在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種無(wú)監(jiān)督掃描電子顯微鏡圖像的失真矯正匹配方法，其特征在于，包括以下步驟：獲取晶圓的SEM圖像和設(shè)計(jì)版圖文件，所述設(shè)計(jì)版圖文件包含SEM圖像中的相應(yīng)區(qū)域；利用無(wú)監(jiān)督SEM圖案位置提取模型將SEM圖像轉(zhuǎn)換為參考版圖風(fēng)格圖像，得到攜帶SEM圖像中圖案位置信息的假參考版圖，將假參考版圖與設(shè)計(jì)版圖文件匹配，根據(jù)設(shè)計(jì)版圖文件中與SEM圖像相匹配的真實(shí)版圖區(qū)域生成匹配版圖；所述的無(wú)監(jiān)督SEM圖案位置提取模型是基于CycleGAN模型的雙生成器雙鑒別器網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，在無(wú)監(jiān)督SEM圖案位置提取模型的訓(xùn)練過(guò)程中引入邊緣對(duì)比學(xué)習(xí)損失和HV翻轉(zhuǎn)不變性損失；所述的邊緣對(duì)比學(xué)習(xí)損失的計(jì)算過(guò)程為：獲取SEM圖像經(jīng)過(guò)第一個(gè)生成器中的第k層編碼器的輸出結(jié)果，將輸出結(jié)果投影至線性空間，獲得編碼特征向量S＝[s1,s2,…,sN]，其中，si表示SEM圖像的編碼特征向量S中的第i維特征，N是編碼特征向量的維度；獲取偽參考版圖經(jīng)過(guò)第二個(gè)生成器中的第k層編碼器的輸出結(jié)果，將輸出結(jié)果投影至線性空間，獲得編碼特征向量T＝[t1,t2,…,tN]，其中，ti表示偽參考版圖的編碼特征向量T中的第i維特征；以si,tj構(gòu)建正負(fù)樣本對(duì)，i＝j(luò)時(shí)為正樣本對(duì)，i≠j時(shí)為負(fù)樣本對(duì)，計(jì)算邊緣對(duì)比學(xué)習(xí)損失Lyx： ti·si＝|ti||si|cosθii其中，θii表示ti和si之間的夾角，|.|表示取模，m表示角度間隔懲罰因子；所述的HV翻轉(zhuǎn)不變性損失的計(jì)算過(guò)程為：將SEM圖像進(jìn)行水平-垂直翻轉(zhuǎn)，將翻轉(zhuǎn)前后的SEM圖像通過(guò)第一生成器轉(zhuǎn)換為假參考版圖，再將一對(duì)假參考版圖翻轉(zhuǎn)至方向一致，計(jì)算翻轉(zhuǎn)至方向一致的一對(duì)假參考版圖的損失作為SEM圖像的HV翻轉(zhuǎn)不變性損失；將偽參考版圖進(jìn)行水平-垂直翻轉(zhuǎn)，將翻轉(zhuǎn)前后的偽參考版圖通過(guò)第二生成器轉(zhuǎn)換為假SEM圖像，再將一對(duì)假SEM圖像翻轉(zhuǎn)至方向一致，計(jì)算翻轉(zhuǎn)至方向一致的一對(duì)假SEM圖像的損失作為偽參考版圖的HV翻轉(zhuǎn)不變性損失；將SEM圖像的HV翻轉(zhuǎn)不變性損失和偽參考版圖的HV翻轉(zhuǎn)不變性損失之和作為最終的HV翻轉(zhuǎn)不變性損失；采用光流法計(jì)算所述假參考版圖與所述匹配版圖之間的形變圖，利用形變圖矯正SEM圖像中的畸變，得到矯正后的SEM圖像；所述矯正后的SEM圖像與匹配版圖用于晶圓的熱點(diǎn)檢測(cè)和輪廓分析。

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