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龍圖騰網(wǎng)恭喜北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利晶圓膜厚測(cè)量不確定度的確定方法及設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119694921B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-20發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202510208526.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/66；該發(fā)明授權(quán)晶圓膜厚測(cè)量不確定度的確定方法及設(shè)備是由周惠言;蔣繼樂(lè)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-02-25向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本晶圓膜厚測(cè)量不確定度的確定方法及設(shè)備在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明提供一種晶圓膜厚測(cè)量不確定度的確定方法及設(shè)備。應(yīng)用于高精度測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。該方法包括：獲取晶圓膜厚測(cè)量裝置對(duì)晶圓膜厚測(cè)量的不確定度分量；不確定度分量包括波長(zhǎng)測(cè)量不確定度、折射率測(cè)量不確定度、折射角測(cè)量不確定度、電壓測(cè)量不確定度、標(biāo)準(zhǔn)晶圓的標(biāo)定系數(shù)偏差引起的不確定度；利用不確定度、、、、確定合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度。本發(fā)明提高了晶圓膜厚測(cè)量過(guò)程中電壓信號(hào)的準(zhǔn)確性，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)拋光工藝終點(diǎn)的精確控制。

本發(fā)明授權(quán)晶圓膜厚測(cè)量不確定度的確定方法及設(shè)備在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種晶圓膜厚測(cè)量不確定度的確定方法，其特征在于，包括：獲取晶圓膜厚測(cè)量裝置對(duì)晶圓膜厚測(cè)量的不確定度分量；所述晶圓膜厚測(cè)量裝置包括光源、透鏡、反射鏡和光電二極管，其中所述光源用于發(fā)出光束，所述透鏡用于對(duì)光束進(jìn)行擴(kuò)束和準(zhǔn)直后，將點(diǎn)光源轉(zhuǎn)成線光源，所述反射鏡用于將線光源進(jìn)行反射，以照射至晶圓表面，所述光電二極管用于接收晶圓表面反射的反射光并產(chǎn)生電信號(hào)；所述不確定度分量包括波長(zhǎng)測(cè)量不確定度、折射率測(cè)量不確定度、折射角測(cè)量不確定度、電壓測(cè)量不確定度、標(biāo)準(zhǔn)晶圓的標(biāo)定系數(shù)偏差引起的不確定度；利用不確定度、、、、確定合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度；其中，利用如下方式計(jì)算不確定度：獲取光源穩(wěn)定性誤差和波長(zhǎng)校準(zhǔn)裝置的波長(zhǎng)校準(zhǔn)誤差；根據(jù)所述光源穩(wěn)定性誤差和所述波長(zhǎng)校準(zhǔn)誤差計(jì)算不確定度；利用如下方式計(jì)算不確定度：通過(guò)膜厚測(cè)量設(shè)備獲取標(biāo)準(zhǔn)晶圓的真實(shí)膜厚值并獲取其所對(duì)應(yīng)的反射率；多次獲取已知真實(shí)膜厚值的標(biāo)準(zhǔn)晶圓對(duì)應(yīng)的電壓值，并計(jì)算所述電壓值的標(biāo)準(zhǔn)差s；根據(jù)重復(fù)性測(cè)量結(jié)果的次數(shù)和多次獲取標(biāo)準(zhǔn)晶圓的真實(shí)膜厚值對(duì)應(yīng)的電壓值計(jì)算重復(fù)性測(cè)量結(jié)果的電壓平均值；根據(jù)重復(fù)性測(cè)量結(jié)果的次數(shù)、標(biāo)準(zhǔn)差s及電壓平均值計(jì)算不確定度；利用如下方式計(jì)算不確定度：根據(jù)所述電壓平均值、膜厚-電壓曲線擬合誤差帶來(lái)的不確定度一、由膜厚測(cè)量?jī)x器誤差產(chǎn)生的不確定度二、線路噪聲誤差產(chǎn)生的不確定度三、AD轉(zhuǎn)換誤差引起的不確定度四計(jì)算不確定度；利用如下方式確定合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度： ;其中，表示晶圓膜厚，表示光源的波長(zhǎng)，表示晶圓薄膜的折射率，為折射到晶圓薄膜表面后的角度，表示電壓，表示標(biāo)定系數(shù)。

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