恭喜信越化學工業株式會社星野成大獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜信越化學工業株式會社申請的專利多晶硅棒獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN110550634B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201910431751.1,技術領域涉及:C01B33/035;該發明授權多晶硅棒是由星野成大;禰津茂義;岡田哲郎;石田昌彥設計研發完成,并于2019-05-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本多晶硅棒在說明書摘要公布了:本發明提供適合作為單晶硅制造用原料的多晶硅棒。從由西門子法培育出的多晶硅棒中采集晶片評價試樣,篩選出粒徑為100nm以下的大小的晶粒以面積比例計占3%以上的多晶硅棒作為單晶硅制造用原料。使用這種多晶硅棒作為原料并通過FZ法來培育單晶硅時,可顯著抑制位錯的發生。
本發明授權多晶硅棒在權利要求書中公布了:1.一種多晶硅棒的篩選方法,其是篩選出通過西門子法培育出的多晶硅棒作為單晶硅制造用原料的篩選方法,其特征在于,為了將在從除硅芯線部分以外的區域采集晶片并進行評價的情況下粒徑為100nm以下的大小的晶粒以面積比例計占3%以上的多晶硅棒作為單晶硅制造用原料使用而進行篩選。
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