恭喜中國科學院上海技術物理研究所王欣獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜中國科學院上海技術物理研究所申請的專利一種改進型奧夫納爾檢驗超大口徑凹非球面鏡的光學系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN110779462B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:201911093645.3,技術領域涉及:G01B11/24;該發(fā)明授權一種改進型奧夫納爾檢驗超大口徑凹非球面鏡的光學系統(tǒng)是由王欣;劉強;周浩;何志平;舒嶸;賈建軍設計研發(fā)完成,并于2019-11-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種改進型奧夫納爾檢驗超大口徑凹非球面鏡的光學系統(tǒng)在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種改進型奧夫納爾檢驗超大口徑凹非球面鏡的光學系統(tǒng)。由檢測設備發(fā)出光線經第一補償透鏡和第二補償透鏡透射,至待檢凹非球面鏡自準后返回。光學系統(tǒng)選用大入射光線孔徑角,第一補償透鏡承擔較大的非球面法線像差,大大提高了補償能力,在小口徑比條件下實現了非球面球差的平衡;補償器口徑與被檢非球面口徑比非常小,僅為0.025;采用兩片式補償器結構,補償透鏡數量少、全球面設計,打破了為了檢驗大口徑非球面將補償系統(tǒng)非球面鏡化的設計局限,方案簡單,加工周期更短;檢驗光路像質優(yōu)良,波像差達到PV值優(yōu)于0.1λ,適合高精度的非球面面形加工。改進型奧夫納爾檢驗可以實現14m超大口徑、1:1.43超大相對孔徑的非球面鏡檢驗。
本發(fā)明授權一種改進型奧夫納爾檢驗超大口徑凹非球面鏡的光學系統(tǒng)在權利要求書中公布了:1.一種改進型奧夫納爾檢驗超大口徑凹非球面鏡的光學系統(tǒng),包括待檢凹非球面鏡(1)、第一補償透鏡(2)和第二補償透鏡(3),其特征在于,所述光學系統(tǒng)的光欄位于待檢凹非球面鏡(1)上;由檢測設備發(fā)出的光線經第一補償透鏡(2)和第二補償透鏡(3)透射后,至待檢凹非球面鏡(1)自準反射,再經第二補償透鏡(3)和第一補償透鏡(2)透射原路回到檢測設備;所述的第一補償透鏡(2)的入射光線孔徑角與出射光線孔徑角之比b1=-2.16,第一補償透鏡(2)與待檢凹非球面鏡(1)口徑比a1=-0.025;所述的第二補償透鏡(3)的入射光線孔徑角與出射光線孔徑角之比b2=0.79,第二補償透鏡(3)與待檢凹非球面鏡(1)口徑比a2=-0.0075;補償透鏡總的入射光線孔徑角與出射光線孔徑角之比b=-1.71;所述的第一補償透鏡(2)和第二補償透鏡(3)為K9或石英玻璃材料;所述的待檢凹非球面鏡(1)材料為金屬鏡或玻璃鏡,面形為二次非球面或高次非球面。
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