恭喜京元電子股份有限公司黃朝錦獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜京元電子股份有限公司申請的專利用于晶圓測試系統的光源調校系統以及光源調校方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113035730B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010391691.8，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權用于晶圓測試系統的光源調校系統以及光源調校方法是由黃朝錦;吳連榮;王怡翔;黃榮光設計研發完成，并于2020-05-11向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于晶圓測試系統的光源調校系統以及光源調校方法在說明書摘要公布了：本發明公開一種用于晶圓測試系統的光源調校系統以及光源調校方法。該晶圓測試系統包含一針測機臺與一測試機臺。該光源調校系統包含被設置在該晶圓測試系統中的一光源機以及分別與該針測機臺、測試機臺和該光源機電性連接的一主執行裝置。該光源機提供測試一晶圓的光源。該主執行裝置控制該針測機臺，用以調整測試該晶圓的一測試高度，接著控制該測試機臺，以從該測試機臺取得該晶圓在該測試高度下的一影像測試數據。該主執行裝置還分析該影像測試數據，以決定該光源機的光源設定參數，并且根據該光源設定參數，調校該光源機。
本發明授權用于晶圓測試系統的光源調校系統以及光源調校方法在權利要求書中公布了：1.一種用于晶圓測試系統的光源調校系統，其特征在于，該晶圓測試系統包含至少一個現場計算機、一針測機臺與一測試機臺，該光源調校系統包含：一光源機，被設置在該晶圓測試系統中，用以提供測試一晶圓的光源；以及一主執行裝置，分別與該至少一個現場計算機、該針測機臺、測試機臺和該光源機電性連接，還與一生產管理系統連接，該主執行裝置用以：從該生產管理系統取得一初始光源設定參數與一高度設定參數，其中該初始光源設定參數和該高度設定參數分別對應于該光源機和該針測機臺在符合一測試目標時的設定結果；根據該高度設定參數設定該針測機臺，以調整測試該晶圓的一測試高度，使該針測機臺的復數個探針接觸該晶圓上對應的復數個裸晶；根據該初始光源設定參數設定該光源機，以讓該晶圓測試系統對該晶圓進行光學測試，產生一影像測試數據；控制該測試機臺，以從該測試機臺取得由該復數個探針接觸的該晶圓上對應的該復數個裸晶在該測試高度下的該影像測試數據；與該至少一個現場計算機共同分析該影像測試數據，以決定該光源機的一光源設定參數；以及根據該光源設定參數，調校該光源機。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人京元電子股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹市公道五路二段81號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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