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龍圖騰網(wǎng)恭喜京元電子股份有限公司申請的專利用于晶圓測試系統(tǒng)的光源調(diào)校系統(tǒng)以及光源調(diào)校方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN113035730B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202010391691.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/66；該發(fā)明授權(quán)用于晶圓測試系統(tǒng)的光源調(diào)校系統(tǒng)以及光源調(diào)校方法是由黃朝錦;吳連榮;王怡翔;黃榮光設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-05-11向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本用于晶圓測試系統(tǒng)的光源調(diào)校系統(tǒng)以及光源調(diào)校方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開一種用于晶圓測試系統(tǒng)的光源調(diào)校系統(tǒng)以及光源調(diào)校方法。該晶圓測試系統(tǒng)包含一針測機(jī)臺與一測試機(jī)臺。該光源調(diào)校系統(tǒng)包含被設(shè)置在該晶圓測試系統(tǒng)中的一光源機(jī)以及分別與該針測機(jī)臺、測試機(jī)臺和該光源機(jī)電性連接的一主執(zhí)行裝置。該光源機(jī)提供測試一晶圓的光源。該主執(zhí)行裝置控制該針測機(jī)臺，用以調(diào)整測試該晶圓的一測試高度，接著控制該測試機(jī)臺，以從該測試機(jī)臺取得該晶圓在該測試高度下的一影像測試數(shù)據(jù)。該主執(zhí)行裝置還分析該影像測試數(shù)據(jù)，以決定該光源機(jī)的光源設(shè)定參數(shù)，并且根據(jù)該光源設(shè)定參數(shù)，調(diào)校該光源機(jī)。

本發(fā)明授權(quán)用于晶圓測試系統(tǒng)的光源調(diào)校系統(tǒng)以及光源調(diào)校方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于晶圓測試系統(tǒng)的光源調(diào)校系統(tǒng)，其特征在于，該晶圓測試系統(tǒng)包含至少一個現(xiàn)場計(jì)算機(jī)、一針測機(jī)臺與一測試機(jī)臺，該光源調(diào)校系統(tǒng)包含：一光源機(jī)，被設(shè)置在該晶圓測試系統(tǒng)中，用以提供測試一晶圓的光源；以及一主執(zhí)行裝置，分別與該至少一個現(xiàn)場計(jì)算機(jī)、該針測機(jī)臺、測試機(jī)臺和該光源機(jī)電性連接，還與一生產(chǎn)管理系統(tǒng)連接，該主執(zhí)行裝置用以：從該生產(chǎn)管理系統(tǒng)取得一初始光源設(shè)定參數(shù)與一高度設(shè)定參數(shù)，其中該初始光源設(shè)定參數(shù)和該高度設(shè)定參數(shù)分別對應(yīng)于該光源機(jī)和該針測機(jī)臺在符合一測試目標(biāo)時的設(shè)定結(jié)果；根據(jù)該高度設(shè)定參數(shù)設(shè)定該針測機(jī)臺，以調(diào)整測試該晶圓的一測試高度，使該針測機(jī)臺的復(fù)數(shù)個探針接觸該晶圓上對應(yīng)的復(fù)數(shù)個裸晶；根據(jù)該初始光源設(shè)定參數(shù)設(shè)定該光源機(jī)，以讓該晶圓測試系統(tǒng)對該晶圓進(jìn)行光學(xué)測試，產(chǎn)生一影像測試數(shù)據(jù)；控制該測試機(jī)臺，以從該測試機(jī)臺取得由該復(fù)數(shù)個探針接觸的該晶圓上對應(yīng)的該復(fù)數(shù)個裸晶在該測試高度下的該影像測試數(shù)據(jù)；與該至少一個現(xiàn)場計(jì)算機(jī)共同分析該影像測試數(shù)據(jù)，以決定該光源機(jī)的一光源設(shè)定參數(shù)；以及根據(jù)該光源設(shè)定參數(shù)，調(diào)校該光源機(jī)。

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