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龍圖騰網(wǎng)恭喜東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利基板處理裝置和空氣供給方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112485981B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202010919558.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/26；該發(fā)明授權(quán)基板處理裝置和空氣供給方法是由田島直樹設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-09-04向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本基板處理裝置和空氣供給方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種基板處理裝置和空氣供給方法。在具有多個(gè)處理單元的基板處理裝置中減少向各處理單元供給的清潔的空氣的溫度、濕度的單元間差異。一種基板處理裝置，其具有多個(gè)處理基板的處理單元，其中，該基板處理裝置具有向所述處理單元供給空氣的多個(gè)管道，在各所述管道具有連結(jié)該管道和空氣的供給源的連接管，所述多個(gè)管道連接有數(shù)量互不相同的所述處理單元，所述管道內(nèi)的空氣的流速和經(jīng)由所述連接管向所述管道供給的空氣的流速中的至少任一者在所述管道之間相等。

本發(fā)明授權(quán)基板處理裝置和空氣供給方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板處理裝置，其具有多個(gè)處理基板的處理單元，其中，該基板處理裝置具有向所述處理單元供給空氣的多個(gè)管道，在各所述管道具有連結(jié)該管道和空氣的供給源的連接管，所述多個(gè)管道連接有數(shù)量互不相同的所述處理單元，所述管道內(nèi)的空氣的流速和經(jīng)由所述連接管向所述管道供給的空氣的流速中的至少任一者在所述管道之間相等，并且，所述基板處理裝置滿足下述A和B的條件中的至少任一者，A所述管道分別具有與空氣向連接于該管道的所述處理單元的總流量相應(yīng)的截面積，以使所述管道內(nèi)的空氣的流速在所述管道之間相等；B所述連接管分別具有與空氣向同該連接管所連結(jié)的所述管道連接的所述處理單元的總流量相應(yīng)的截面積，以使經(jīng)由所述連接管向所述管道供給的空氣的流速在所述管道之間相等。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。