恭喜ASML荷蘭有限公司約斯特·安德烈·克魯格斯特獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜ASML荷蘭有限公司申請的專利透射型擴散器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114556167B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080071117.2,技術領域涉及:G02B5/02;該發明授權透射型擴散器是由約斯特·安德烈·克魯格斯特;A·尼基帕羅夫;W·J·恩格倫;廉晉;保羅·亞歷山大·維梅倫;哈利勒·戈凱·葉根設計研發完成,并于2020-09-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本透射型擴散器在說明書摘要公布了:一種擴散器,所述擴散器被配置成接收和透射輻射。所述擴散器包括散射層510,所述散射層被配置成散射所接收的輻射,所述散射層510包括第一物質且具有在其中分布的多個空隙。所述第一物質可以是散射物質,或替代地,所述空隙中的至少一個空隙可以包含所述散射物質,并且所述第一物質具有與所述散射物質相比更低的折射率。
本發明授權透射型擴散器在權利要求書中公布了:1.一種被配置成接收和透射輻射的擴散器,其中所述擴散器包括:散射層,所述散射層被配置成散射所接收的輻射,所述散射層包括第一物質且具有在其中分布的多個空隙,其中:所述第一物質是散射物質,或所述空隙中的至少一個空隙包含散射物質且所述第一物質具有與所述散射物質相比更低的折射率;并且其中所述第一物質和所述空隙包括全息干涉圖案,選擇所述全息干涉圖案以在給出期望的波長的輻射的情況下形成全息圖,且所述全息圖具有角強度分布,所述角強度分布是具有與所述全息圖的徑向外部部分相比在中心區中的較低的強度的頂帽形分布,所述全息圖的所述徑向外部部分與所述全息圖的中心在角度上間隔開至少9°。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人ASML荷蘭有限公司,其通訊地址為:荷蘭維德霍溫;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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