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龍圖騰網(wǎng)恭喜東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利載置臺(tái)和等離子體處理裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113097044B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202011578696.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)載置臺(tái)和等離子體處理裝置是由須川直樹設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-12-28向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本載置臺(tái)和等離子體處理裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供載置臺(tái)和等離子體處理裝置。能夠用一個(gè)密封構(gòu)件保護(hù)高度不同的多個(gè)粘接層。載置臺(tái)具有第1載置部、第2載置部、第1粘接層、第2粘接層以及密封構(gòu)件。第1載置部用于載置基板。第2載置部低于第1載置部，用于載置包圍基板的周緣的邊緣環(huán)。第1粘接層粘接基臺(tái)和第1載置部。第2粘接層粘接基臺(tái)和第2載置部。密封構(gòu)件在比第1粘接層靠上側(cè)的位置與第1載置部接觸，在比第2粘接層靠上側(cè)的位置與第2載置部接觸，并通過變形將第1載置部與第2載置部之間堵塞。

本發(fā)明授權(quán)載置臺(tái)和等離子體處理裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種載置臺(tái)，其中，該載置臺(tái)具有：第1載置部，其用于載置基板；第2載置部，其低于所述第1載置部，用于載置包圍所述基板的周緣的邊緣環(huán)；第1粘接層，其粘接基臺(tái)和所述第1載置部；第2粘接層，其粘接所述基臺(tái)和所述第2載置部；以及密封構(gòu)件，其在比所述第1粘接層靠上側(cè)的位置與所述第1載置部接觸，在比所述第2粘接層靠上側(cè)的位置與所述第2載置部接觸，并通過變形將所述第1載置部與所述第2載置部之間堵塞。

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