恭喜重慶康佳光電科技有限公司范春林獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜重慶康佳光電科技有限公司申請的專利巨量轉移裝置及巨量轉移方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115410943B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110594371.7,技術領域涉及:H01L21/67;該發明授權巨量轉移裝置及巨量轉移方法是由范春林;蕭俊龍;蔡明達;王斌;汪慶設計研發完成,并于2021-05-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本巨量轉移裝置及巨量轉移方法在說明書摘要公布了:一種巨量轉移裝置及巨量轉移方法,巨量轉移裝置包括:承載平臺、第一調節組件和第二調節組件,承載平臺用于放置正對設置的生長基板和暫態基板,且生長基板和暫態基板均與承載平臺垂直。第一調節組件位于生長基板背向暫態基板的一側,并推動生長基板朝向暫態基板移動,第二調節組件位于暫態基板背向生長基板的一側,并推動暫態基板朝向生長基板移動。通過在巨量轉移裝置中設置第一調節組件和第二調節組件推動生長基板和暫態基板相對移動,由于第一調節組件和第二調節組件在移動過程中能夠保持移動路徑的穩定,以使生長基板和暫態基板始終保持正對狀態,達到了鍵合時能夠精準對位的目的,且操作簡單快捷,有利于提升產品良率和巨量轉移效率。
本發明授權巨量轉移裝置及巨量轉移方法在權利要求書中公布了:1.一種巨量轉移裝置,其特征在于,包括:承載平臺,所述承載平臺用于放置生長基板和暫態基板;其中,置于所述承載平臺上的所述生長基板設有芯片的第一表面和所述暫態基板設有鍵合膠層的第二表面正對,且所述生長基板和所述暫態基板均與所述承載平臺垂直;以及第一調節組件和第二調節組件,所述第一調節組件和所述第二調節組件均設置在所述承載平臺上,所述第一調節組件位于所述生長基板背向所述暫態基板的一側,所述第二調節組件位于所述暫態基板背向所述生長基板的一側;其中,所述第一調節組件包括第一支架和第一推桿,所述第一支架固定在所述承載平臺上且其上設置有通孔,所述第一推桿包括第一滑動部和第一連接部,所述第一滑動部穿過所述通孔并通過設置于端部的所述第一連接部與所述生長基板連接,并推動所述生長基板朝向所述暫態基板移動,以使所述芯片和所述鍵合膠層連接;和或,所述第二調節組件包括第二支架和第二推桿,所述第二支架固定于所述承載平臺上且其上設置有另一通孔,所述第二推桿包括第二滑動部和第二連接部,所述第二滑動部穿過所述通孔并通過設置于端部的所述第二連接部與所述暫態基板連接,并推動所述暫態基板朝向所述生長基板移動,以使所述芯片和所述鍵合膠層連接。
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