恭喜北京半導體專用設備研究所(中國電子科技集團公司第四十五研究所)牛巖獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜北京半導體專用設備研究所(中國電子科技集團公司第四十五研究所)申請的專利一種執行器同步掃描的控制方法、上位機以及控制系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114624965B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210327161.6，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種執行器同步掃描的控制方法、上位機以及控制系統是由牛巖;付純鶴;蘇鵬方;杜婷婷;徐圓圓設計研發完成，并于2022-03-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種執行器同步掃描的控制方法、上位機以及控制系統在說明書摘要公布了：本申請提供了一種執行器同步掃描的控制方法、上位機以及控制系統，所述控制方法包括：獲取參與掃描的各個子系統執行器的掃描時間區間；根據獲取到的多個掃描時間區間之間的時間交叉關系，確定掃描時間值，并根據掃描時間值，確定出準備時間值；根據掃描時間值以及準備時間值，同時向各個子系統執行器下發掃描控制指令，控制多個子系統執行器對待曝光晶圓進行同步掃描。采用本申請提供的技術方案能夠通過獲取掃描時間區間與準備時間區間，確定出掃描時間值，以及準備時間值，并通過掃描時間值時間與準備時間值控制多個子系統執行器對待曝光晶圓進行同步掃描，從而在保障曝光圖像質量的同時提高晶圓曝光的工作效率。
本發明授權一種執行器同步掃描的控制方法、上位機以及控制系統在權利要求書中公布了：1.一種執行器同步掃描的控制方法，其特征在于，應用于上位機，所述控制方法包括：獲取參與掃描的各個子系統執行器的掃描時間區間；其中，掃描時間區間是根據上位機發送的動作數據確定的，所述動作數據包括子系統執行器掃描的起始位置和終止位置；根據獲取到的多個掃描時間區間之間的時間交叉關系，確定掃描時間值，并根據掃描時間值，確定出準備時間值；根據所述掃描時間值以及所述準備時間值，同時向各個子系統執行器下發掃描控制指令，控制多個子系統執行器對待曝光晶圓進行同步掃描。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京半導體專用設備研究所(中國電子科技集團公司第四十五研究所)，其通訊地址為：100176 北京市北京經濟技術開發區泰河三街1號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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