恭喜浙江大學丁志華獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰,真高效! 查專利查商標用IPTOP,全免費!專利年費監控用IP管家,真方便!
龍圖騰網恭喜浙江大學申請的專利一種基于低相干干涉的光譜儀標定方法與系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114894308B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210411685.3,技術領域涉及:G01J3/28;該發明授權一種基于低相干干涉的光譜儀標定方法與系統是由丁志華;韓濤設計研發完成,并于2022-04-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種基于低相干干涉的光譜儀標定方法與系統在說明書摘要公布了:本發明公開了一種基于低相干干涉的光譜儀標定方法與系統。本發明將兩塊厚度不同的量規放在同一平面,并分別測量量規表面和參考平面鏡之間的干涉信號,進而得到相對相位差分布。將He?Ne激光器的光耦合進干涉儀,可以得到特征波長和對應像素位置,加上兩次測量的光程差之差,可在相對相位差分布基礎上獲得相位差的絕對值;然后根據特征譜線的波長和位置可以計算兩次測量光程差之差的精確值,即可從相位差的絕對值直接得到每個像素對應的波長,完成光譜儀的標定。本發明可一次性獲得相機所有像素與波長的對應關系。同時,干涉信號相位的高靈敏度避免了傳統的多特征譜線擬合方法的擬合誤差,使得該方法可以實現光譜儀的寬譜、快速、高精度標定。
本發明授權一種基于低相干干涉的光譜儀標定方法與系統在權利要求書中公布了:1.一種基于低相干干涉的光譜儀標定方法,其特征在于:具體步驟如下:1將寬帶光源出射光和He-Ne激光器光源出射光通過一塊分束器同時耦合進干涉儀;其中,寬帶光源出射光產生低相干干涉;He-Ne激光器出射光為準單色光,作為特征譜線;2固定一塊平面反射鏡作為干涉儀參考面,分別采用兩塊金屬量規作為樣品臂反射面,兩塊金屬量規的厚度分別為d1和d2,兩塊量規表面干涉信號的光程差分別為2z1和2z2;3通過光譜儀分別探測兩次干涉信號并經過數據采集卡采集,傳輸到計算機內存中進行數據處理;其中,干涉信號Iki的表達式為: 其中,η為探測器的靈敏度,q為單個電荷量,hν為單光子能量,Pr為從參考臂返回到探測器的光功率,Po為照射到樣品上的光功率,z為反射面與參考面光程差的一半,rz和分別代表樣品深度方向上反射系數的幅度和相位,Γz為光源瞬時輸出的相干函數,ki代表第i個像素處的波數,z=0時對應樣品臂反射面與參考面的光程差為0;4對干涉信號進行傅立葉逆變換和加窗濾波處理,得到光程差為2z1和2z2的干涉信號的空間譜,再經過傅立葉變換得到干涉信號中去除直流分量的交流項;所述去除直流分量的交流項IACki的表達式為: 其中,Ski為光源功率譜譜分布函數;5對干涉信號的交流項進行Hilbert變換并取相位,獲得干涉信號交流項的包裹相位;6兩個金屬量規表面干涉信號的包裹相位依次為和包裹相位的計算方法具體為: 其中,floor表示向負無窮方向取整運算;以中心位置的相位主值作為起點進行雙向連續化解包裹處理,得到相對相位分布 式中為固定值,表示中心采樣位置的相位包裹次數,kc為中心波數;兩次測量干涉信號的相位相減,進而獲得近似光程差下對應的相位差分布: 其中,近似光程差2Δz=2d2-d1;7利用He-Ne光源的特征譜線對應的絕對相位2kHeNeΔz,計算出相對相位包裹次數N2-N1,表示為 其中,round運算表示取最接近的整數值,kHeNe為He-Ne光源的特征譜線對應的波數;計算光程差為2Δz時的光譜絕對相位分布: 8兩次測量的光程差之差準確值通過獲得,光譜儀絕對波長標定值為: 其中,i為光譜儀采樣點,M為最大采樣點數。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人浙江大學,其通訊地址為:310058 浙江省杭州市西湖區余杭塘路866號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息,力求客觀、公正,但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解,僅供參考使用,不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。