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龍圖騰網恭喜中國科學院上海光學精密機械研究所申請的專利半球諧振子金屬化鍍膜均勻性的評估方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115420203B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211000524.1，技術領域涉及：G01B11/06；該發明授權半球諧振子金屬化鍍膜均勻性的評估方法是由邵建達;王建國;易葵;劉世杰;田云先;徐天柱;劉昶;潘靖宇;邵淑英設計研發完成，并于2022-08-19向國家知識產權局提交的專利申請。

本半球諧振子金屬化鍍膜均勻性的評估方法在說明書摘要公布了：一種半球諧振子金屬化鍍膜均勻性的評估方法，本發明能夠有效地評估諧振子膜厚的整體均勻性分布，避免重復試驗，節省了成本，在半球諧振子加工、調試領域具有重要應用。

本發明授權半球諧振子金屬化鍍膜均勻性的評估方法在權利要求書中公布了：1.一種半球諧振子金屬化鍍膜均勻性的評估方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：1將鍍膜前的半球諧振子1的支撐桿垂直地固定在裝有夾具的轉臺2上，該轉臺整體放置在真空腔室3內，在所述的半球諧振子1的側邊安裝有壓電陶瓷驅動的橡膠小錘子4，所述的真空腔室3整體放置在減震氣浮平臺上，在所述的氣浮平臺上架設一激光測振儀6，使所述的激光測振儀6發出的激光光斑通過所述的真空腔室3的窗口7水平垂直地入射到所述的半球諧振子1的唇沿表面，所述的激光測振儀6的另一端與計算機8的輸入端相連，所述的計算機8的控制端經一控制器5與所述的橡膠小錘子4相連；2所述的計算機8通過所述的控制器5控制所述的橡膠小錘子4以一定的沖擊力對所述的半球諧振子1進行敲擊激振，同時，所述的激光測振儀6輸出的激光光斑與所述的半球諧振子1的唇沿接觸后發生多普勒效應而改變頻率，并被所述的半球諧振子1反射形成反射光信號，該反射光信號被所述的激光測振儀6接收后輸入所述的計算機8；3所述的計算機8對反射光信號進行數據分析，得到所述的半球諧振子1的振動速度隨時間的衰減曲線，基于此結果分析計算所述的半球諧振子1的振動頻率f0和衰減時間τ，進而獲得所述的半球諧振子1的品質因子Q1；4通過所述的轉臺2對所述的半球諧振子1進行位置調整，依次測量所述的半球諧振子1唇沿其他位置的品質因子Q2、Q3、……、QN,其中，N為所述的半球諧振子1唇沿圓周方向的測量點數，可獲得N個等角度位置變化的半球諧振子1唇沿圓周方向的Q值曲線；5對所述的半球諧振子1進行超聲波清洗后進行金屬化鍍膜；6將金屬化鍍膜后的半球諧振子1的支撐桿垂直地固定所述的轉臺2上，按步驟1調整所述的金屬化鍍膜后的半球諧振子1的位置，并按步驟2、3、4對金屬化鍍膜后的半球諧振子1唇沿圓周方向N個位置進行測量，分別獲得值Q′1、Q′2、Q′3……Q′N，所述的計算機8將各個測量點在鍍膜前后的Q值變化量ΔQ進行差分計算，ΔQi＝Qi-Qi′，分別獲得Q值變化量ΔQ1、ΔQ2、ΔQ3……ΔQN，在半球諧振子在唇沿圓周方向的鍍膜前后的Q值變化曲線；7對圓周方向的鍍膜前后的Q值變化曲線進行統計分析，對于超過1個標準偏差σ的測量結果進行分析，重點分析介于-3σ～-2σ和2σ～3σ區間的數據點，前者體現了對應測量位置的膜層相比平均膜厚偏厚，而后者體現了對應測量位置的膜厚相比平均膜厚偏薄。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院上海光學精密機械研究所，其通訊地址為：201800 上海市嘉定區清河路390號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。