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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限公司;上海集成電路研發(fā)中心有限公司申請的專利一種特氣供應(yīng)高壓測漏補(bǔ)償設(shè)備獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115654371B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202211279952.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：F17D1/02；該發(fā)明授權(quán)一種特氣供應(yīng)高壓測漏補(bǔ)償設(shè)備是由顧文俊設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-10-19向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種特氣供應(yīng)高壓測漏補(bǔ)償設(shè)備在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種特氣供應(yīng)高壓測漏補(bǔ)償設(shè)備，包括鋼瓶接頭、工藝氣出口、吹掃氮?dú)狻⒏邏簜?cè)漏氣體、真空產(chǎn)生器氣源、排氣口、排風(fēng)口、擴(kuò)充口和串口。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)在于：室外硅烷站現(xiàn)場更換特氣鋼瓶后，需要對鋼瓶接口進(jìn)行高壓保壓測試，本專利技術(shù)將不在受室外環(huán)境溫度變化的影響，測試結(jié)果準(zhǔn)確率更高。降低了現(xiàn)場操作的誤判率，提高了安全生產(chǎn)的技術(shù)要求。

本發(fā)明授權(quán)一種特氣供應(yīng)高壓測漏補(bǔ)償設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種特氣供應(yīng)高壓測漏補(bǔ)償設(shè)備，包括鋼瓶接頭1、工藝氣出口2、吹掃氮?dú)?、高壓側(cè)漏氣體4、真空產(chǎn)生器氣源5、排氣口6、排風(fēng)口7、擴(kuò)充口8和串口9，其特征在于：所述鋼瓶接頭1分設(shè)于兩側(cè)，鋼瓶接頭1連接高壓三通氣動閥10，鋼瓶接頭1和高壓三通氣動閥10之間安裝有壓力傳感器11，高壓三通氣動閥10上串聯(lián)過流量開關(guān)12，過流量開關(guān)12并聯(lián)高壓三通氣動閥二13和高壓三通氣動閥三14，高壓三通氣動閥二13串聯(lián)兩通手動閥15和單向閥16，高壓三通氣動閥三14串聯(lián)調(diào)壓閥17、壓力傳感器11和低壓兩通氣動閥19，單向閥16和兩通手動閥15之間通過低壓三通氣動閥20并聯(lián)高壓三通氣動閥三14管路，低壓兩通氣動閥19上串聯(lián)有過濾器21和兩通手動閥15，兩個鋼瓶接頭1管路并聯(lián)；連接擴(kuò)充口8和串口9的管路靠近鋼瓶接頭1的壓力傳感器11上連接有PLC18，PLC18連接溫度計(jì)。

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