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恭喜有研億金新材料有限公司;有研億金新材料(山東)有限公司朱孜毅獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜有研億金新材料有限公司;有研億金新材料(山東)有限公司申請的專利一種CoFeB靶材及其制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116288196B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211610998.8,技術領域涉及:C23C14/35;該發明授權一種CoFeB靶材及其制備方法是由朱孜毅;楊文魁;何金江;羅俊鋒;李勇軍;呂保國;宿曉敖;徐國進設計研發完成,并于2022-12-14向國家知識產權局提交的專利申請。

一種CoFeB靶材及其制備方法在說明書摘要公布了:本發明涉及濺射靶材技術領域,尤其涉及一種CoFeB靶材及其制備方法,制備方法包括如下步驟:1原材料坯料熔融;2二次加料;3攪拌;4熔體澆鑄;5靶材制備。本發明的制備方法依次經過原材料坯料熔融、二次加料、攪拌后進行熔體澆鑄直接得到組織均勻、性能良好的CoFeB鑄錠,后續通過切片、機加工及焊接等工序制備得到CoFeB靶材,得到的CoFeB靶材具有密度高、組織均勻、氧含量低≤100wtppm等優點,能滿足磁控濺射要求,可被廣泛應用于制備磁頭、磁阻傳感器以及磁阻元件MRAM等領域。本發明的制備方法還可有效解決B含量升高帶來的塑性差、易開裂問題。

本發明授權一種CoFeB靶材及其制備方法在權利要求書中公布了:1.一種CoFeB靶材的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:1原材料坯料熔融:將含鈷、鐵、硼的原材料坯料熔煉至融化,以得到熔液;所述原材料坯料的熔點≤1200℃;2二次加料:在T℃下,將含硼的二次加料粉體加入至步驟1得到的所述熔液中,再進行保溫處理,得到合金熔體;其中,所述原材料坯料的熔點≤T℃<所述二次加料粉體的熔點;3攪拌:將步驟2得到的所述合金熔體進行攪拌至所述二次加料粉體均勻分布于所述熔液中;4熔體澆鑄:將經過步驟3處理后的所述合金熔體進行澆鑄成型,得到CoFeB鑄錠;5靶材制備:采用步驟4得到的所述CoFeB鑄錠制備得到CoFeB靶材。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人有研億金新材料有限公司;有研億金新材料(山東)有限公司,其通訊地址為:102200 北京市昌平區超前路33號1幢1至3層01;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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