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龍圖騰網恭喜上海邦芯半導體科技有限公司申請的專利反應腔體內部氣流速度檢測裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119044532B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411535536.3，技術領域涉及：G01P5/08；該發明授權反應腔體內部氣流速度檢測裝置是由譚小龍;涂樂義;桂智謙;王兆祥;梁潔;彭國發;李一平設計研發完成，并于2024-10-31向國家知識產權局提交的專利申請。

本反應腔體內部氣流速度檢測裝置在說明書摘要公布了：本發明提供一種反應腔體內部氣流速度檢測裝置，將氣流檢測裝置設置于反應腔體內的加熱器上，并與氣流速度計算裝置通信連接；利用氣流檢測裝置中的導體滑動機構在氣體流動作用下的移動引起電阻變化，進而通過氣流檢測裝置的檢測電路采集電流變化數據，并基于氣體流速檢測算法計算獲得反應腔體內部局部氣體流速。此裝置能夠直接、準確地測量反應腔體內部局部的氣體流動速度，解決了現有技術無法精確控制和優化氣體流動的問題，為半導體去膠工藝的精確控制和優化提供了有力支持。

本發明授權反應腔體內部氣流速度檢測裝置在權利要求書中公布了：1.一種反應腔體內部氣流速度檢測裝置，其特征在于，所述裝置包括：氣流檢測裝置以及氣流速度計算裝置；其中，所述氣流檢測裝置設置于反應腔體內的加熱器上，與所述氣流速度計算裝置通信連接；所述氣流檢測裝置，包括：導體滑動機構、固定電壓電源以及電流表；所述導體滑動機構、固定電壓電源以及電流表依次串聯，形成檢測電路；所述導體滑動機構，用于在反應腔內部氣體流動時導體被帶動在導軌上移動，引起導體滑動機構電阻變化，以使檢測電路的電流變化；所述導體滑動機構包括導軌結構、導體、彈性部件以及絕緣固定物塊；所述導軌結構具有從底端向頂端延伸的導軌，且導軌底端固定于所述絕緣固定物塊上；所述導體與導軌滑動連接，以沿滑動軌道方向滑動；所述彈性部件兩端分別連接所述絕緣固定物塊以及導體，可在所述導體作用下形變；當反應腔體內部由氣流產生的風力作用于所述導體時，帶動彈性部件產生形變，使所述導體在導軌上沿滑動軌道方向滑動到相應位置；所述導軌結構包括：兩個相同且平行布置的導軌，且兩個導軌的底端固定于固定物塊的固定面上；長方形導體的兩個滑動面各自與兩個導軌接觸，以使長方形導體沿滑動軌道方向滑動；所述彈性部件為彈簧，其形變方向與軌道滑動方向平行，且在反應腔內部沒有氣體流動時保持初始形態；所述導體具有作用接觸面，用于使反應腔體內部的氣流所形成的不同方向的風力作用于其上，以被帶動沿著對應軌道滑動方向移動；所述導體為長方形導體，與軌道滑動方向平行的兩個側面為與導軌接觸的滑動面，平行且垂直滑動軌道方向的兩個側面為作用接觸面；兩個作用接觸面包括：第一作用接觸面以及第二作用接觸面；其中，第一作用接觸面連接所述彈性部件，且第一作用接觸面、導軌以及絕緣固定物塊的固定面形成一容納空間，該容納空間的大小可隨長方形導體的移動變化；所述固定電壓電源，用于為檢測電路提供固定電壓；所述電流表，用于實時采集檢測電路的電流數據；所述氣流速度計算裝置，用于基于氣體流速檢測算法，根據電流表的電流數據計算獲得反應腔體內部局部氣體流速；其中，所述氣體流速檢測算法包括： 其中，v為當前的反應腔體內部局部氣體流速，U為所述固定電壓電源提供的固定電壓，I為電流表當前的電流示數，R0為所述導體滑動機構的初始電阻、M為長方形導體的質量、k為彈簧的勁度系數、t為當前的時間、ρ為氣流密度、S0為長方體導體的作用接觸面的面積、σ為導軌的電導率以及S為導軌的橫截面積。

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