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恭喜蘇州中科科儀技術發展有限公司張崢獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜蘇州中科科儀技術發展有限公司申請的專利一種離子泵抽速測量工裝及測量方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119146047B

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411642383.2,技術領域涉及:F04B51/00;該發明授權一種離子泵抽速測量工裝及測量方法是由張崢;劉立軍;韓超;聶平巖;李賞;王超設計研發完成,并于2024-11-18向國家知識產權局提交的專利申請。

一種離子泵抽速測量工裝及測量方法在說明書摘要公布了:本申請公開了一種離子泵抽速測量工裝及測量方法,其屬于離子泵性能測試領域,其技術要點在于:所述離子泵抽速測量工裝包括依次連接的:氣源、充氣腔組件、過渡腔組件、測試腔組件;充氣腔組件與流量計連接;充氣腔組件、過渡腔組件、測試腔組件均連接有分子泵,過渡腔組件還連接有穩壓離子泵,待測離子泵連接測試腔組,充氣腔構件與過渡腔構件通過第一連接管道連接,在第一連接管道上設置有第一小孔和第一開關閥;過渡腔構件與測試腔構件通過第二連接管道連接,在第二連接管道上設置有第二小孔和第二開關閥。采用本申請的技術方案,能夠測量離子泵在超高真空條件下的抽速。

本發明授權一種離子泵抽速測量工裝及測量方法在權利要求書中公布了:1.一種離子泵抽速測量工裝,其用于對待測離子泵的抽速進行測試;其特征在于,所述離子泵抽速測量工裝包括:充氣腔組件、過渡腔組件、測試腔組件、氣源;其中,充氣腔組件包括:充氣腔構件、流量計、充氣腔真空計組件、第一分子泵、第一前級泵;充氣腔構件的內部設置有充氣腔;所述流量計、所述充氣腔真空計組件分別與所述充氣腔連通;所述第一前級泵、所述第一分子泵、所述充氣腔構件依次連接;其中,所述過渡腔組件包括:過渡腔構件、第三開關閥、過渡腔真空計組件、第二分子泵、第二前級泵、穩壓離子泵;所述過渡腔構件的內部設置有過渡腔;所述穩壓離子泵、所述過渡腔真空計組件分別與所述過渡腔構件連通;所述第二前級泵、所述第二分子泵、所述第三開關閥、所述過渡腔構件依次連接;其中,所述測試腔組件包括:測試腔構件、第四開關閥、測試腔真空計組件、第三分子泵、第三前級泵;所述測試腔組件的內部設置有測試腔;所述第三前級泵、所述第三分子泵、所述第四開關閥、所述測試腔構件依次連接;所述測試腔真空計組件與所述測試腔構件連通;其中,充氣腔組件、過渡腔組件、測試腔組件之間的連接關系是:所述充氣腔構件與所述過渡腔構件通過第一連接管道連接,在第一連接管道上設置有第一小孔,在第一連接管道上設置有第一開關閥;所述過渡腔構件與所述測試腔構件通過第二連接管道連接,在第二連接管道上設置有第二小孔,在第二連接管道上設置有第二開關閥;其中,所述氣源與所述流量計連接;充氣腔真空計組件包括有2個以上的充氣腔真空計;過渡腔真空計組件包括有2個以上的過渡腔真空計。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州中科科儀技術發展有限公司,其通訊地址為:215163 江蘇省蘇州市高新區昆侖山路189號3號廠房一樓;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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