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龍圖騰網(wǎng)恭喜蘇州信越半導(dǎo)體有限公司申請的專利控制半導(dǎo)體材料穩(wěn)定生長的方法、裝置、電子設(shè)備及介質(zhì)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119194602B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411677323.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C30B25/16；該發(fā)明授權(quán)控制半導(dǎo)體材料穩(wěn)定生長的方法、裝置、電子設(shè)備及介質(zhì)是由王紅真;陳海昌設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-22向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本控制半導(dǎo)體材料穩(wěn)定生長的方法、裝置、電子設(shè)備及介質(zhì)在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種控制半導(dǎo)體材料穩(wěn)定生長的方法、裝置、電子設(shè)備及介質(zhì)，所述方法包括：（1）結(jié)合前爐材料的X射線衍射結(jié)果、光致發(fā)光測試結(jié)果和源爐束流變化值，對材料生長過程中使用的源爐溫度進(jìn)行調(diào)整；（2）結(jié)合反射高能電子衍射圖像中特定結(jié)構(gòu)出現(xiàn)和消失的溫度點(diǎn)，分別對襯底的脫氧溫度和外延層的生長溫度進(jìn)行調(diào)整；（3）結(jié)合束流測試中的V族束流差和生長過程中的生長室真空差異，對V族束流的閥位差進(jìn)行調(diào)整；其中，步驟（1）?（3）不分先后順序。本發(fā)明提供的方法通過控制生長過程中各個關(guān)鍵參數(shù)并結(jié)合相關(guān)參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，實(shí)現(xiàn)大規(guī)模半導(dǎo)體材料的穩(wěn)定生長并維持材料的一致性，簡化了工藝流程，降低了操作難度，有利于大規(guī)模推廣應(yīng)用。

本發(fā)明授權(quán)控制半導(dǎo)體材料穩(wěn)定生長的方法、裝置、電子設(shè)備及介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種控制半導(dǎo)體材料穩(wěn)定生長的方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟中的任意一步或至少兩步的組合：（1）結(jié)合前爐材料的X射線衍射結(jié)果、光致發(fā)光測試結(jié)果和源爐束流變化值，對材料生長過程中使用的源爐溫度進(jìn)行調(diào)整，且所述源爐溫度的調(diào)整按照以下公式進(jìn)行：ΔTIn=A1-P1a1+ΔF1a2；ΔTAl=X1a3；上式中，ΔTIn為In源爐溫度調(diào)整值；A1為材料目標(biāo)波長，且1.68≤A1≤2.60；P1為光致發(fā)光測試波長；ΔF1為In源爐束流降低值；ΔTAl為Al源爐溫度調(diào)整值；X1為InAlAs峰與InGaAs峰的失配度；a1、a2和a3均為生長材料的波長相關(guān)值，且0.01≤a1≤0.05，0＜a2≤2×10-8，100≤a3≤600；（2）結(jié)合反射高能電子衍射圖像中2×4重構(gòu)出現(xiàn)和消失的溫度點(diǎn)，分別對襯底的脫氧溫度和外延層的生長溫度進(jìn)行調(diào)整，具體包括以下步驟：（2.1）在襯底升溫過程中，結(jié)合反射高能電子衍射圖像中2×4重構(gòu)出現(xiàn)的溫度點(diǎn)，對襯底的脫氧溫度進(jìn)行調(diào)整；所述脫氧溫度的調(diào)整按照以下公式進(jìn)行：T1-1=AT1-Ta+Tb；上式中，T1-1為襯底的脫氧溫度；T1為反射高能電子衍射圖像中2×4重構(gòu)出現(xiàn)的溫度點(diǎn)；A、Ta和Tb均為襯底材料的類型相關(guān)值，且0＜A≤1，450≤Ta≤650，Ta≤Tb≤780；（2.2）在襯底降溫過程中，結(jié)合反射高能電子衍射圖像中2×4重構(gòu)消失的溫度點(diǎn)，對外延層的生長溫度進(jìn)行調(diào)整；（3）結(jié)合束流測試中的V族束流差和生長過程中的生長室真空差異，對V族束流的閥位差進(jìn)行調(diào)整，且所述閥位差的調(diào)整按照以下公式進(jìn)行：ΔV=ΔG+ΔFC×100%；上式中，ΔV為V族束流的閥位差；ΔG為生長過程中的生長室真空差異；ΔF為束流測試中的V族束流差；C為常規(guī)系數(shù)，且0＜C≤1；其中，步驟（1）-（3）不分先后順序。

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