恭喜蘇州鎂伽科技有限公司田松獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜蘇州鎂伽科技有限公司申請的專利一種套刻測量方法、裝置、設備及存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119376195B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411931235.2，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種套刻測量方法、裝置、設備及存儲介質是由田松設計研發完成，并于2024-12-26向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種套刻測量方法、裝置、設備及存儲介質在說明書摘要公布了：本申請公開了一種套刻測量方法、裝置、設備及存儲介質，涉及套刻測量技術領域。本申請應用于成像套刻測量設備的控制器，響應于對待測晶圓的測試指令，移動焦面至多個測試位置，分別獲取每個測試位置對應的套刻測量數據；依據每個套刻測量數據，確定焦面在每個測試位置下對應的，用于評價焦面位于測試位置時的量測效果評價因子；根據所有評價因子所反映的測試位置變化對量測效果的影響，確定與待測晶圓匹配的目標焦面位置；控制焦面調整至目標焦面位置，并控制成像套刻測量設備，對待測晶圓中的套刻標記進行套刻測量。本申請的評價參數綜合了套刻測量的量測效果，使得最終調整得到的焦面位置能夠兼顧套刻測量的準確性。
本發明授權一種套刻測量方法、裝置、設備及存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種套刻測量方法，其特征在于，應用于成像套刻測量設備的控制器，所述套刻測量方法包括：響應于測試指令，獲取多個測試位置，其中，所述測試位置是指在預先標定的焦面的初始位置的預設范圍內的位置；控制所述焦面依次移動至每個所述測試位置對待測晶圓進行套刻測量，分別獲取每個所述測試位置對應的套刻測量數據；依據每個所述套刻測量數據，確定所述焦面在每個所述測試位置下對應的評價因子，所述評價因子用于評價所述焦面位于所述測試位置時的量測效果；根據所有所述評價因子所反映的所述測試位置變化對所述量測效果的影響，確定與所述待測晶圓匹配的目標焦面位置；控制所述焦面調整至所述目標焦面位置，并控制所述成像套刻測量設備，對所述待測晶圓中的套刻標記進行套刻測量。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州鎂伽科技有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市中國(江蘇)自由貿易試驗區蘇州片區蘇州工業園區玲瓏街88號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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