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龍圖騰網恭喜上海微電子裝備(集團)股份有限公司申請的專利一種工件臺組件、半導體生產設備及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119542241B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510104321.4，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權一種工件臺組件、半導體生產設備及方法是由陳文樞;楊博光;王鑫鑫;蔡晨;冒鵬飛設計研發完成，并于2025-01-22向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種工件臺組件、半導體生產設備及方法在說明書摘要公布了：本發明提供了一種工件臺組件、半導體生產設備及方法，工件臺組件包括工件臺本體和壓邊機構；工件臺本體包括吸盤座和吸盤，吸盤設在吸盤座上；多個壓邊機構環繞布置在吸盤外周；壓邊機構包括水平驅動件、垂向驅動件、壓板部，水平驅動件與吸盤座連接，垂向驅動件與水平驅動件連接，壓板部與垂向驅動件連接；水平驅動件和垂向驅動件狀態保持時，壓板部與吸盤相對靜止。工件臺組件用于半導體生產設備，半導體生產設備工作時執行：使吸盤吸附基板；檢測基板的狀態是否符合預設應用條件，若是，則執行預設操作，若否，則利用壓邊機構在線壓邊，再執行預設操作，確保預設操作順利進行。

本發明授權一種工件臺組件、半導體生產設備及方法在權利要求書中公布了：1.一種工件臺組件，其特征在于，包括工件臺本體和多個壓邊機構；所述工件臺本體包括吸盤座和吸盤，所述吸盤設置在所述吸盤座上；多個所述壓邊機構環繞地布置在所述吸盤的外周；每個所述壓邊機構均包括：水平驅動件，與所述吸盤座連接；垂向驅動件，與所述水平驅動件連接，并在所述水平驅動件的驅使下沿水平方向移動以靠近或遠離所述吸盤；壓板部，與所述垂向驅動件連接，并在所述垂向驅動件的驅使下沿垂向移動以靠近或遠離所述吸盤；所述壓板部包括轉接板和壓條，所述轉接板與所述垂向驅動件連接，所述壓條連接在所述轉接板朝向所述水平驅動件的一側；以及，圍擋部，與所述轉接板連接，并位于所述壓條遠離所述吸盤的一側；所述圍擋部包括第一擋邊和第二擋邊，所述第一擋邊連接在所述轉接板朝向所述水平驅動件的一側，且所述第一擋邊在垂向上的尺寸大于所述壓條在垂向上的尺寸；所述第二擋邊為柔性結構，并連接在所述第一擋邊的自由端，且突出于所述轉接板的自由端；所述第二擋邊朝向所述水平驅動件的一端與所述第一擋邊朝向水平驅動件的一端對齊；所有的所述壓邊機構的所述圍擋部能夠拼接形成環形結構；所述工件臺組件被配置為在所述水平驅動件和所述垂向驅動件進行狀態保持時，使所述吸盤與所述壓板部保持相對靜止。

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