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龍圖騰網(wǎng)恭喜江蘇沃凱氟精密智造有限公司申請(qǐng)的專利一種半導(dǎo)體清洗槽漏水檢測(cè)設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119555299B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510132564.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01M3/10；該發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體清洗槽漏水檢測(cè)設(shè)備是由王輝;辛瑞;常洪振設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-02-06向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種半導(dǎo)體清洗槽漏水檢測(cè)設(shè)備在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明涉及漏水檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體說(shuō)是一種半導(dǎo)體清洗槽漏水檢測(cè)設(shè)備；包括檢測(cè)池以及所述檢測(cè)池外壁上連通的進(jìn)液管和出液管；所述進(jìn)液管遠(yuǎn)離檢測(cè)池底壁設(shè)置；所述出液管靠近檢測(cè)池底壁設(shè)置；所述檢測(cè)池的規(guī)格大于清洗槽本體；所述檢測(cè)池內(nèi)注有檢測(cè)液；所述檢測(cè)池中心正上方位置設(shè)有檢測(cè)板；所述檢測(cè)板形狀規(guī)格與清洗槽本體內(nèi)壁橫截面相適應(yīng)；本發(fā)明通過(guò)檢測(cè)板下移進(jìn)入至清洗槽本體內(nèi)側(cè)，從而增大清洗槽本體內(nèi)側(cè)氣體壓強(qiáng)后，并觀察清洗槽本體周圍的檢測(cè)液氣泡產(chǎn)生情況，進(jìn)而快速完成半導(dǎo)體清洗槽的漏水檢測(cè)，相比較現(xiàn)有的清洗槽本體裝入檢測(cè)液的檢測(cè)方式而言，本發(fā)明的檢測(cè)方式更加方便和快捷。

本發(fā)明授權(quán)一種半導(dǎo)體清洗槽漏水檢測(cè)設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種半導(dǎo)體清洗槽漏水檢測(cè)設(shè)備，包括檢測(cè)池以及所述檢測(cè)池外壁上連通的進(jìn)液管和出液管；所述進(jìn)液管遠(yuǎn)離檢測(cè)池底壁設(shè)置；所述出液管靠近檢測(cè)池底壁設(shè)置；所述檢測(cè)池的規(guī)格大于清洗槽本體；所述檢測(cè)池內(nèi)注有檢測(cè)液；其特征在于：所述檢測(cè)池中心正上方位置設(shè)有檢測(cè)板；所述檢測(cè)板形狀規(guī)格與清洗槽本體內(nèi)壁橫截面相適應(yīng)；所述檢測(cè)板與清洗槽本體內(nèi)壁活動(dòng)密封配合；所述檢測(cè)板上方固定連接電動(dòng)推桿；所述電動(dòng)推桿通過(guò)L形架固連在檢測(cè)池的后側(cè)；所述電動(dòng)推桿能夠帶動(dòng)檢測(cè)板進(jìn)入清洗槽本體內(nèi)側(cè)；所述檢測(cè)板下表面固定連接四個(gè)導(dǎo)向板；所述導(dǎo)向板靠上一端靠近檢測(cè)板對(duì)應(yīng)的邊緣；所述導(dǎo)向板靠下一端傾斜朝向檢測(cè)板下方中心位置；側(cè)向方向的所述導(dǎo)向板寬度大于前后方向的導(dǎo)向板寬度；所述導(dǎo)向板具有彈性；所述檢測(cè)板上下貫穿設(shè)置有儲(chǔ)存槽；所述儲(chǔ)存槽內(nèi)固定連接收集袋；所述收集袋由柔性材料制成；所述檢測(cè)池內(nèi)底壁固定連接檢測(cè)座；檢測(cè)座上表面固定連接支撐槽；檢測(cè)座上表面設(shè)置有加強(qiáng)槽；加強(qiáng)槽內(nèi)滑動(dòng)密封連接著加強(qiáng)條；支撐塊與支撐槽之間滑動(dòng)密封連接；支撐塊靠下一端與支撐槽槽壁之間通過(guò)彈簧連接；支撐槽槽底與加強(qiáng)槽槽底之間通過(guò)氣孔連通，加強(qiáng)條靠上一端固定連接斜條。

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