恭喜法博思(寧波)半導體設備有限公司李志松獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜法博思(寧波)半導體設備有限公司申請的專利基于移相分布收斂準則的圖像重組與篩選方法及裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119687777B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-16發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510220383.1,技術領域涉及:G01B9/02;該發明授權基于移相分布收斂準則的圖像重組與篩選方法及裝置是由李志松;張豐怡;底復龑;宋金龍設計研發完成,并于2025-02-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于移相分布收斂準則的圖像重組與篩選方法及裝置在說明書摘要公布了:本申請公開了一種基于移相分布收斂準則的圖像重組與篩選方法及裝置,通過獲取多組干涉圖像,將每組干涉圖像的每幀圖像映射到預定義的移相量目標值集合中,得到映射函數,然后采用移相收斂策略進行初級、次級、三級、四級和多級篩選,逐步優化,以篩選出移相分布最為準確的組合,在篩選過程中計算MAD指標評估像素點的移相準確性,根據離散系數評估多級篩選結果的整體移相數據集中度,從而確定出符合預設精度要求的干涉圖組合。本申請提供的一種基于移相分布收斂準則的圖像重組與篩選方法及裝置不僅提高了相位測量的準確性,而且通過減少對復雜算法的依賴,降低了計算成本;此外,該方法的自適應篩選機制使其能夠在多變的測量環境中保持高效。
本發明授權基于移相分布收斂準則的圖像重組與篩選方法及裝置在權利要求書中公布了:1.一種基于移相分布收斂準則的圖像重組與篩選系統,其特征在于,包括計算機設備、控制盒、PZT和激光干涉系統,所述激光干涉系統包括CMOS、第一準直物鏡、分光鏡、激光器、第二準直物鏡、標準鏡和被測鏡,所述標準鏡固定在所述PZT上,所述CMOS、所述第一準直物鏡、所述分光鏡、所述第二準直物鏡、所述標準鏡和所述被測鏡從左到右依次設置,且光軸位于同一直線,所述激光器設置在所述分光鏡上方且與所述分光鏡垂直;所述CMOS和所述控制盒與所述計算機設備電連接,所述控制盒與所述PZT電連接;所述計算機設備包括存儲器和處理器,所述存儲器存儲有計算機程序,所述處理器執行所述計算機程序時實現基于移相分布收斂準則的圖像重組與篩選方法,所述基于移相分布收斂準則的圖像重組與篩選方法包括:步驟1:在不同環境條件下獲取多組干涉圖像,將每組干涉圖像的每幀圖像映射到預定義的移相量目標值集合中,得到映射函數;步驟2:根據移相量求解公式從映射函數中篩選出四個元素作為初始篩選元素;步驟3:遍歷初始篩選元素所有的圖像排列組合,并根據移相量求解公式計算每個圖像排列組合的移相量;步驟4:根據移相量和目標移相量計算MAD指標,并根據MAD指標選擇移相偏差最小的圖像排列組合作為篩選結果;步驟5:固定篩選結果中的一個或多個元素,將一個或多個元素作為新的篩選元素,并從映射函數中選擇新的元素,保證新的篩選元素為四個元素;步驟6:重復迭代步驟2至步驟5,直至篩選完映射函數中所有的元素,并得到多級篩選結果;步驟7:根據離散系數評估多級篩選結果的整體移相數據集中度,從而確定出符合預設精度要求的干涉圖組合。
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