恭喜核工業西南物理研究院;成都同創材料表面科技有限公司李民久獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜核工業西南物理研究院;成都同創材料表面科技有限公司申請的專利一種真空鍍膜脈沖偏壓膜電源的電弧檢測器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112921294B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201911236265.0,技術領域涉及:C23C14/54;該發明授權一種真空鍍膜脈沖偏壓膜電源的電弧檢測器是由李民久;陳慶川;蒲世豪;賀巖斌;姜亞南;熊濤;黃雨;邵斌設計研發完成,并于2019-12-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種真空鍍膜脈沖偏壓膜電源的電弧檢測器在說明書摘要公布了:本發明屬于自動控制技術和電力電子技術領域,具體涉及一種真空鍍膜脈沖偏壓膜電源的電弧檢測器。當電源輸出高頻脈沖時,該電弧檢測器通過不斷采樣電源輸出脈沖占空比內的電感電流值,并計算出電感電流變化斜率,這樣在電弧產生的初期,電弧電流開始爬升,該控制器就已偵測到電弧,然后迅速的關斷電源的輸出能量,減小電弧能量。由于該電弧檢測器采用直接采樣電感電流并快速計算電流變化率的方法,能在電弧電流爬升的初期檢測到電弧的發生,能更快的關斷電源輸出,從而能更有效的抑制住電弧能量并滅掉電弧,提高了鍍膜質量、產品成品率和生產效率。
本發明授權一種真空鍍膜脈沖偏壓膜電源的電弧檢測器在權利要求書中公布了:1.一種真空鍍膜脈沖偏壓膜電源的電弧檢測器,包括電弧抑制電路、電流互感器LEM、ADC采樣電路103和可編程邏輯器件113,可編程邏輯器件113的內部電路包括多脈沖使能電路112、第一寄存器105、第二寄存器106、減法器107、除法器108、斜率比較電路110、PWM脈沖形成電路111和SPI串口寄存器109;其特征在于:電弧抑制電路由一個電感L和至少一只二極管D并聯組成,脈沖電源的輸出高壓脈沖形成單元102的正向輸出端連接到二極管組件的陰極,二極管的陽極連接到等離子體負載101的一端;電流互感器LEM套在電弧抑制電路的電感的一端輸出線上,電流互感器LEM的取樣信號輸出端并接取樣電阻,將電感電流轉換為隔離后的電壓信號;電流互感器LEM的輸出電阻取樣信號連接到ADC采樣電路103的模擬信號輸入端,ADC采樣電路103可適時采樣電流互感器LEM的輸出電阻取樣信號;ADC采樣電路103的并行數據輸出信號端口Data、采樣使能輸入信號端口EN1、片選輸入信號端口CS和讀數據輸入信號端口RD分別連接到可編程邏輯器件113的IO端口,使可編程邏輯器件113適時控制ADC采樣電路103對模擬輸入信號進行采樣和采樣數據讀??;可編程邏輯器件113輸出IO端口連接到驅動隔離電路104的輸入端,驅動隔離電路104的輸出端連接到脈沖電源的輸出高壓脈沖形成單元102的控制輸入端,實現對電源輸出脈沖的驅動和封鎖控制;可編程邏輯器件113的內部電路包括多脈沖使能電路112、兩個串聯的先進先出寄存器105、106、減法器107、除法器108、斜率比較電路110、PWM脈沖形成電路111、和SPI串口寄存器109。
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