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龍圖騰網恭喜盛達歐米科有限公司申請的專利用于確定樣品表面處的壓力的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113169016B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980079910.4，技術領域涉及：H01J37/285；該發明授權用于確定樣品表面處的壓力的方法是由彼得·阿曼;安德斯·尼爾森設計研發完成，并于2019-12-06向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于確定樣品表面處的壓力的方法在說明書摘要公布了：描述了一種用于監測放置在樣品區域2中的樣品1的樣品表面Ss處的樣品壓力的方法，其中樣品表面Ss面對位于壁6中的孔3，該壁將樣品區域2與被抽真空的低壓腔室4分隔開。該方法包括以下步驟：確定樣品表面Ss處的樣品參考壓力與低壓腔室4中的腔室參考壓力之間的關系；將樣品1設置成使樣品表面Ss在距孔3一段距離處面對孔3103；提供樣品壓力104；測量低壓腔室4內的腔室壓力105；以及使用測得的腔室壓力以及所確定的樣品參考壓力和腔室參考壓力之間的關系來確定樣品壓力106。

本發明授權用于確定樣品表面處的壓力的方法在權利要求書中公布了：1.一種用于監測放置在樣品區域（2）中的樣品（1）的樣品表面（Ss）處的樣品壓力的方法，所述樣品表面（Ss）面對位于壁（6）中的孔（3），所述壁將所述樣品區域（2）與被抽真空的低壓腔室（4）分隔開，其特征在于，所述方法包括以下步驟：步驟a）在所述樣品區域（2）中提供具有多個不同的樣品參考壓力的氣體（101），其中，不同的所述樣品參考壓力中的每個所述樣品參考壓力都高于10mbar，步驟b）對于每個所述樣品參考壓力，測量所述低壓腔室（4）內產生的腔室參考壓力，以確定所述樣品參考壓力與所述腔室參考壓力之間的關系（102），步驟c）將所述樣品（1）布置成使所述樣品表面（Ss）在距所述孔（3）一段距離處面對所述孔（3）（103），其中，所述樣品表面（Ss）與所述孔（3）之間的距離保持為小于300μm，步驟c1）在端表面（S）中設置至少一個氣體出口（5），所述至少一個氣體出口被設置成將來自氣體供應設備（20）的氣體引導到所述端表面（S）與所述樣品表面（Ss）之間的體積中，步驟d）在所述樣品表面處提供具有樣品表面壓力的氣體（104），其中，所述樣品表面壓力通過從所述氣體供應設備（20）向所述至少一個氣體出口（5）供應氣體來提供，步驟e）測量所述低壓腔室（4）內的腔室壓力（105），以及步驟f）使用所測得的腔室壓力以及所確定的所述樣品參考壓力與所述腔室參考壓力之間的關系來確定樣品表面壓力（106），其中，所述低壓腔室（4）中的壓力小于每個所述樣品參考壓力。

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