恭喜朗姆研究公司拉詹·阿羅拉獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利集成晶片翹曲測量獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113330543B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080010882.3，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權集成晶片翹曲測量是由拉詹·阿羅拉;邁克爾·蘇扎;韋恩·鄧;亞辛·卡布茲;馮燁設計研發完成，并于2020-01-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本集成晶片翹曲測量在說明書摘要公布了：在一些示例中，一種晶片翹曲測量系統，其包括測量單元，該測量單元包括：晶片支撐組件，其用于將旋轉運動傳遞給被支撐在所述測量單元中的被測晶片；光學傳感器；用于校準所述光學傳感器的校準標準件；線性平臺致動器，其用于將線性運動方向傳遞給所述光學傳感器；晶片居中傳感器，其用于確定被支撐在所述測量單元中的所述被測晶片的居中；以及晶片對準傳感器，其用于確定支撐在所述測量單元中的所述被測晶片的對準。
本發明授權集成晶片翹曲測量在權利要求書中公布了：1.一種晶片翹曲測量系統，其包括：測量單元，其包括：晶片支撐組件，其用于將旋轉運動傳遞給被支撐在所述測量單元中的被測晶片；光學傳感器；用于校準所述光學傳感器的校準標準件；線性平臺致動器，其用于將線性運動方向傳遞給所述光學傳感器；晶片居中傳感器，其用于確定被支撐在所述測量單元中的所述被測晶片的居中；以及晶片對準傳感器，其用于確定支撐在所述測量單元中的所述被測晶片的對準。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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