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龍圖騰網(wǎng)恭喜朗姆研究公司申請(qǐng)的專利集成晶片翹曲測(cè)量獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113330543B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080010882.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/66；該發(fā)明授權(quán)集成晶片翹曲測(cè)量是由拉詹·阿羅拉;邁克爾·蘇扎;韋恩·鄧;亞辛·卡布茲;馮燁設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-01-24向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本集成晶片翹曲測(cè)量在說明書摘要公布了：在一些示例中，一種晶片翹曲測(cè)量系統(tǒng)，其包括測(cè)量單元，該測(cè)量單元包括：晶片支撐組件，其用于將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳遞給被支撐在所述測(cè)量單元中的被測(cè)晶片；光學(xué)傳感器；用于校準(zhǔn)所述光學(xué)傳感器的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件；線性平臺(tái)致動(dòng)器，其用于將線性運(yùn)動(dòng)方向傳遞給所述光學(xué)傳感器；晶片居中傳感器，其用于確定被支撐在所述測(cè)量單元中的所述被測(cè)晶片的居中；以及晶片對(duì)準(zhǔn)傳感器，其用于確定支撐在所述測(cè)量單元中的所述被測(cè)晶片的對(duì)準(zhǔn)。

本發(fā)明授權(quán)集成晶片翹曲測(cè)量在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶片翹曲測(cè)量系統(tǒng)，其包括：測(cè)量單元，其包括：晶片支撐組件，其用于將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳遞給被支撐在所述測(cè)量單元中的被測(cè)晶片；光學(xué)傳感器；用于校準(zhǔn)所述光學(xué)傳感器的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件；線性平臺(tái)致動(dòng)器，其用于將線性運(yùn)動(dòng)方向傳遞給所述光學(xué)傳感器；晶片居中傳感器，其用于確定被支撐在所述測(cè)量單元中的所述被測(cè)晶片的居中；以及晶片對(duì)準(zhǔn)傳感器，其用于確定支撐在所述測(cè)量單元中的所述被測(cè)晶片的對(duì)準(zhǔn)。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國(guó)加利福尼亞州；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。