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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利集成式工具升降機獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113748499B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-13發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080032091.0，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權集成式工具升降機是由保羅·艾伯特·阿凡西諾;杰瑞爾·K·安托利克;丹尼·亞瑟·布朗;詹森·李·特雷德韋爾設計研發完成，并于2020-02-21向國家知識產權局提交的專利申請。

本集成式工具升降機在說明書摘要公布了：提供了半導體處理工具，其包含：上部支撐框架；沿第一軸布置的多個半導體處理室；線性引導系統，其由上部支撐框架固定地支撐，并沿著基本平行于第一軸的第二軸延伸；以及載架。每一處理室均具有相對于上部支撐框架而固定地安裝的基部，且具有包含一或多個升降特征的可卸除式上蓋。載架包含升降臂，其被配置成圍繞豎直軸而樞轉，該豎直軸基本垂直于第二軸，載架被配置成與線性引導系統能移動地接合且相對于線性引導系統而沿著第二軸平移。載架以及升降臂均為可移動式，以使升降臂的升降特征接合接口可以被移動以與任一可卸除式上蓋的升降特征接合。

本發明授權集成式工具升降機在權利要求書中公布了：1.一種半導體處理工具，其包含：上部支撐框架；沿著第一軸布置的第一多個半導體處理室；第一線性引導系統，其由所述上部支撐框架固定地支撐，并沿著基本平行于所述第一軸的第二軸延伸；以及第一載架，其中：每一半導體處理室均具有相對于所述上部支撐框架而固定地安裝的基部，且具有包含一或多個升降特征的可卸除式上蓋，所述第一載架包含具有一或多個連桿的第一升降臂，所述第一升降臂被配置成圍繞豎直軸樞轉，所述豎直軸基本上垂直于所述第二軸，所述第一載架被配置成與所述第一線性引導系統能移動地接合且相對于所述第一線性引導系統而沿著所述第二軸平移，所述第一升降臂包含升降特征接合接口，所述升降特征接合接口被配置成與所述第一多個半導體處理室的所述可卸除式上蓋中的任一個的所述升降特征接合，所述第一載架和所述第一升降臂都是能移動的，使得所述升降特征接合接口能被移動以與所述第一多個半導體處理室的所述可卸除式上蓋中的任一個的所述升降特征接合，以及其中所述升降特征接合接口利用接頭而連接至所述第一升降臂的遠端，所述接頭被配置成讓所述升降特征接合接口繞著垂直于所述豎直軸的兩個或更多的軸旋轉。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。