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恭喜王振志;何立瑋獲國(guó)家專(zhuān)利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)恭喜王振志;何立瑋申請(qǐng)的專(zhuān)利動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件及其制造方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN111863814B

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-13發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為:202010120377.6,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10B12/00;該發(fā)明授權(quán)動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件及其制造方法是由王振志;何立瑋設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2020-02-26向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件及其制造方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了:本發(fā)明提供一種動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件包含形成于半導(dǎo)體基材上的多條位線、多條第一隔離帶、多條第二隔離帶、形成于該等第一隔離帶與該等第二隔離帶之間的多個(gè)晶體管、多條字線以及形成于該等第一隔離帶與該等第二隔離帶上方的多個(gè)電容器。半導(dǎo)體基材定義縱向方向、橫向方向、多個(gè)沿該縱向方向的列以及多個(gè)沿橫向方向的行。該等第一隔離帶與該等第二隔離帶沿縱向方向延伸。每一個(gè)晶體管對(duì)應(yīng)該等列中的一個(gè)列與該等行中的一個(gè)行。位于每一條第一隔離帶的一側(cè)的該等晶體管與位于該條第一隔離帶的另一側(cè)的該等晶體管交錯(cuò)排列。

本發(fā)明授權(quán)動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件及其制造方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了:1.一種動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件,其特征在于,包含:半導(dǎo)體基材,定義一縱向方向、一橫向方向、一法向方向、沿所述縱向方向的多個(gè)列以及沿所述橫向方向的多個(gè)行;多條位線,形成于所述半導(dǎo)體基材上,每一條位線對(duì)應(yīng)所述多個(gè)行中的一個(gè)行并且沿其對(duì)應(yīng)的行延伸;多條第一隔離帶,形成于所述多條位線上并且沿所述縱向方向延伸,每一條第一隔離帶具有一個(gè)別的第一縱向邊緣以及一個(gè)別的第二縱向邊緣;多條第二隔離帶,形成于所述多條位線上并且沿所述縱向方向延伸,每一條第二隔離帶具有一個(gè)別的第三縱向邊緣以及一個(gè)別的第四縱向邊緣,所述多條第一隔離帶以及所述多條第二隔離帶交替排列;多條堆疊帶,由形成于所述多條位線上的第一半導(dǎo)體層、形成于所述第一半導(dǎo)體層上的第一絕緣層以及形成于所述第一絕緣層上的第二半導(dǎo)體層所構(gòu)成,每一條堆疊帶對(duì)應(yīng)所述多條第一隔離帶中的一條第一隔離帶與所述多條第二隔離帶中的一條第二隔離帶,且位于其對(duì)應(yīng)的第一隔離帶與其對(duì)應(yīng)的第二隔離帶之間,每一條堆疊帶具有多個(gè)凹陷,其中所述多個(gè)凹陷面向其對(duì)應(yīng)的第二隔離帶的所述第三縱向邊緣或所述第四縱向邊緣,位于每一條第一隔離帶的一側(cè)的所述凹陷與位于所述第一隔離帶的另一側(cè)的所述凹陷交錯(cuò)排列,每一個(gè)凹陷對(duì)應(yīng)所述多個(gè)列中的一個(gè)列與所述多個(gè)行中的一個(gè)行;多個(gè)晶體管,每一個(gè)晶體管對(duì)應(yīng)所述凹陷中的一個(gè)凹陷并且包含由一半導(dǎo)體材料形成的一個(gè)別的柱體,每一個(gè)柱體配合其對(duì)應(yīng)的凹陷且沿所述橫向方向延伸,每一個(gè)柱體具有一個(gè)別的平行所述法向方向的基礎(chǔ)側(cè)面、一個(gè)別的與所述基礎(chǔ)側(cè)面相對(duì)的錐形側(cè)面、一個(gè)別的垂直所述法向方向的第一頂面、一個(gè)別的與所述第一頂面相對(duì)的底面、一個(gè)別的相鄰所述基礎(chǔ)側(cè)面與所述錐形側(cè)面的前側(cè)面以及一個(gè)別的與所述前側(cè)面相對(duì)的后側(cè)面,在每一個(gè)柱體中,一個(gè)別的第一細(xì)長(zhǎng)部分夾在所述第一頂面、所述基礎(chǔ)側(cè)面、所述前側(cè)面以及所述后側(cè)面之間形成一個(gè)別的源極區(qū)域,一個(gè)別的第二細(xì)長(zhǎng)部分夾在所述底面、所述基礎(chǔ)側(cè)面、所述前側(cè)面以及所述后側(cè)面之間形成一個(gè)別的漏極區(qū)域,一個(gè)別的板狀部分位于所述基礎(chǔ)側(cè)面上且位于所述第一細(xì)長(zhǎng)部分與所述第二細(xì)長(zhǎng)部分之間形成一個(gè)別的通道區(qū)域,所述柱體中除過(guò)源級(jí)區(qū)、漏極區(qū)和通道區(qū)以外的區(qū)域形成一個(gè)別的本體區(qū)域,每一個(gè)晶體管并且包含一個(gè)別的被覆其對(duì)應(yīng)的由所述半導(dǎo)體材料形成的所述柱體的所述基礎(chǔ)側(cè)面的介電層、一個(gè)別的被覆所述介電層的柵極導(dǎo)體、一個(gè)別的第一子位線以及一個(gè)別的第二子位線,所述個(gè)別的第一子位線形成于所述第一半導(dǎo)體層處且連接于所述漏極區(qū)域與對(duì)應(yīng)所述晶體管的所述位線之間,所述個(gè)別的第二子位線形成于所述第二半導(dǎo)體層處且連接所述源極區(qū)域;多條字線,每一條字線對(duì)應(yīng)所述多個(gè)列中的一個(gè)列并且連接沿著其對(duì)應(yīng)的列排列的所述柵極導(dǎo)體;第二絕緣層,形成于所述第二半導(dǎo)體層、所述多條第一隔離帶以及所述多條第二隔離帶上;多個(gè)轉(zhuǎn)接通孔接觸,每一個(gè)轉(zhuǎn)接通孔接觸對(duì)應(yīng)多條第二子位線中的一個(gè)第二子位線并且形成以貫穿所述第二絕緣層進(jìn)而連接其對(duì)應(yīng)的第二子位線;第三絕緣層,形成于所述第二絕緣層以及所述多個(gè)轉(zhuǎn)接通孔接觸上;以及多個(gè)電容器,每一個(gè)電容器對(duì)應(yīng)所述多個(gè)轉(zhuǎn)接通孔接觸中的一個(gè)轉(zhuǎn)接通孔接觸并且形成以貫穿所述第三絕緣層進(jìn)而連接其對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)接通孔接觸。

如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專(zhuān)利技術(shù),可聯(lián)系本專(zhuān)利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人王振志;何立瑋,其通訊地址為:中國(guó)臺(tái)灣臺(tái)北市文山區(qū)木新路三段189巷4號(hào)3樓;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話(huà)0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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